上海悦匠实业有限公司刘帅获国家专利权
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龙图腾网获悉上海悦匠实业有限公司申请的专利一种晶圆加热盘升降结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223921524U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520456080.5，技术领域涉及：C23C14/50；该实用新型一种晶圆加热盘升降结构是由刘帅设计研发完成，并于2025-03-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆加热盘升降结构在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种晶圆加热盘升降结构，包括加热盘夹具、夹具安装结构、升降传动结构、电机安装结构和驱动电机，夹具安装结构包括导轨基板和导轨，导轨上设置有滑块；升降传动结构包括丝杆组件和皮带组件，丝杆组件包括丝杆和丝杆螺母，丝杆螺母连接加热盘夹具和滑块，丝杆的底端连接皮带组件；电机安装结构包括电机支撑板和电机过渡板，驱动电机固定于电机过渡板；电机过渡板可调节的安装于电机支撑板，驱动电机的驱动轴连接皮带组件，驱动电机旋转通过皮带组件带动丝杆旋转，进而带动加热盘夹具沿导轨竖直移动；电机过渡板上设置有调节螺钉，通过调节螺钉微调驱动电机的横向位置，进而调节皮带组件的松紧。
本实用新型一种晶圆加热盘升降结构在权利要求书中公布了：1.一种晶圆加热盘升降结构，其特征在于，包括加热盘夹具、夹具安装结构、升降传动结构、电机安装结构和驱动电机，所述夹具安装结构包括导轨基板和导轨，所述导轨上设置有滑块；所述升降传动结构包括丝杆组件和皮带组件，所述丝杆组件包括丝杆和丝杆螺母，所述丝杆螺母连接所述加热盘夹具和所述滑块，所述丝杆的底端连接所述皮带组件；所述电机安装结构包括电机支撑板和电机过渡板，所述驱动电机固定于所述电机过渡板；所述电机过渡板可调节的安装于电机支撑板，所述驱动电机的驱动轴连接所述皮带组件，所述驱动电机旋转通过皮带组件带动所述丝杆旋转，进而带动加热盘夹具沿所述导轨竖直移动；所述电机过渡板上设置有调节螺钉，通过所述调节螺钉微调所述驱动电机的横向位置，进而调节皮带组件的松紧。
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