上海悦匠实业有限公司彭聪获国家专利权
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龙图腾网获悉上海悦匠实业有限公司申请的专利一种用于PVD主机与晶圆装载接口的连接支架获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223921523U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520402698.3，技术领域涉及：C23C14/50；该实用新型一种用于PVD主机与晶圆装载接口的连接支架是由彭聪设计研发完成，并于2025-03-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于PVD主机与晶圆装载接口的连接支架在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种用于PVD主机与晶圆装载接口的连接支架，包括左支架组件和右支架组件；左支架组件和右支架组件对称设置于PVD主机的主机架的两端连接主机架，左支架组件包括左主连接支架、左接口支架和连接板；右支架组件包括右主连接支架、右接口支架和连接板，左主连接支架与右主连接支架结构相同且对称设置用以连接主机架，左接口支架与右接口支架结构相同且对称设置用以连接晶圆装载接口；左主连接支架包括垂直弯折设置的第一连接部和第二连接部，左接口支架包括垂直弯折设置的第三连接部和第四连接部，连接板、第二连接部和第三连接部依次贴合设置，并通过螺钉连接固定；第一连接部与主机架连接，第四连接部与晶圆装载接口连接。
本实用新型一种用于PVD主机与晶圆装载接口的连接支架在权利要求书中公布了：1.一种用于PVD主机与晶圆装载接口的连接支架，其特征在于，包括左支架组件和右支架组件；所述左支架组件和所述右支架组件对称设置于PVD主机的主机架的两端连接所述主机架，所述左支架组件包括左主连接支架、左接口支架和连接板；所述右支架组件包括右主连接支架、右接口支架和连接板，所述左主连接支架与所述右主连接支架结构相同且对称设置用以连接所述主机架，所述左接口支架与所述右接口支架结构相同且对称设置用以连接晶圆装载接口；所述左主连接支架包括垂直弯折设置的第一连接部和第二连接部，所述左接口支架包括垂直弯折设置的第三连接部和第四连接部，所述连接板、第二连接部和所述第三连接部依次贴合设置，并通过螺钉连接固定；所述第一连接部与所述主机架连接，所述第四连接部与所述晶圆装载接口连接。
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