江苏昕感科技有限责任公司李亚获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏昕感科技有限责任公司申请的专利一种防止晶圆背镀的PVD设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223921521U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520048937.X，技术领域涉及：C23C14/50；该实用新型一种防止晶圆背镀的PVD设备是由李亚;陈坤伍设计研发完成，并于2025-01-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种防止晶圆背镀的PVD设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及PVD设备技术领域，尤其是一种防止晶圆背镀的PVD设备，包括腔室以及安装在所述腔室中的靶材和基座：在所述基座的连接部上固定安装有承载件，所述承载件的上方通过至少两个调节组件连接有遮挡环，所述遮挡环套设在所述基座的外侧；其中在所述遮挡环的底部还设置有同步组件，本实用新型中通过遮挡环用于实现对晶圆镀膜时的承载以及遮挡，配合调节组件可实现晶圆正面区域不与基座相接触，同时晶圆在边缘处接触内缩部，有效防止了晶圆正面出现背镀情况，采用本设备可杜绝背面PVD背镀和提高正面有效晶片的数量，以达到在提高产量的同时，保证了产品质量。
本实用新型一种防止晶圆背镀的PVD设备在权利要求书中公布了：1.一种防止晶圆背镀的PVD设备，包括腔室1以及安装在所述腔室1中的靶材2和基座3，其特征在于： 在所述基座3的连接部上固定安装有承载件4，所述承载件4的上方通过至少两个调节组件5连接有遮挡环6，所述遮挡环6套设在所述基座3的外侧； 其中在所述遮挡环6的底部还设置有同步组件7，所述同步组件7用于保持至少两个所述调节组件5同步转动。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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