维达力实业(深圳)有限公司蒋立志获国家专利权
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龙图腾网获悉维达力实业(深圳)有限公司申请的专利射频靶获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223921519U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520592745.5，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型射频靶是由蒋立志;虞文韬设计研发完成，并于2025-03-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本射频靶在说明书摘要公布了：本申请涉及一种射频靶。射频靶包括靶材、靶材背板、磁极、隔水组件以及限位组件，靶材设置于靶材背板的一侧，磁极设置于靶材背板背离靶材的一侧，隔水组件包括隔水板，隔水板设置于靶材背板与磁极之间，隔水板与靶材背板界定形成冷却水道；限位组件被配置为用于限制隔水板移动，以使得隔水板与靶材背板相对固定。将磁极与冷却水通过隔水板有效隔开，避免磁极长期泡水，避免磁极与水中杂质发生化学反应，减少对于环境的危害；避免磁极氧化造成的极性衰减，保证工艺产生的稳定和工件的品质，增加射频靶的使用寿命，减少使用成本。
本实用新型射频靶在权利要求书中公布了：1.一种射频靶，其特征在于，包括： 靶材； 靶材背板，所述靶材设置于所述靶材背板的一侧； 磁极，所述磁极设置于所述靶材背板背离所述靶材的一侧； 隔水组件，所述隔水组件包括隔水板，所述隔水板设置于所述靶材背板与所述磁极之间，所述隔水板与所述靶材背板界定形成冷却水道；以及限位组件，所述限位组件被配置为用于限制所述隔水板移动，以使得所述隔水板与所述靶材背板相对固定。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人维达力实业(深圳)有限公司，其通讯地址为：518129 广东省深圳市龙岗区平湖街道禾花社区富康路6号深业物流平湖中心厂房B(宝能智创谷B栋)301-303, 305-313, 315-322；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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