江苏福拉特半导体设备有限公司李素华获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏福拉特半导体设备有限公司申请的专利一种晶圆倒角装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223917497U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520354304.1，技术领域涉及：B24B9/06；该实用新型一种晶圆倒角装置是由李素华;候胜利;袁亚鸿设计研发完成，并于2025-03-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆倒角装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆倒角装置，包括真空吸附台、机架和具有打磨头的打磨机，所述打磨机设于机架上，并可在机架上作Y和Z轴方向的位移，且打磨头的旋转轴为竖直的Z轴方向，真空吸附台设于机架上，并可在机架上作旋转和位移，旋转轴为竖直的Z轴方向，位移为X方向，在真空吸附台上设有至少三个吸附工位。本申请将晶圆横置即水平放置，更容易定位，且将Y向和Z向的位移集成于向上的空间中，保证打磨机三维空间大的自由度，将龙门架设于机架的一侧末端，在机架上让出更多的X向的位移空间，方便设置多工位，可以更高的提高加工效率。
本实用新型一种晶圆倒角装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆倒角装置，包括真空吸附台1、机架3和具有打磨头的打磨机2，其特征在于：所述打磨机2设于机架3上，并可在机架上作Y和Z轴方向的位移，且打磨头的旋转轴为竖直的Z轴方向，真空吸附台1设于机架3上，并可在机架上作旋转和位移，旋转轴为竖直的Z轴方向，位移为X方向，在真空吸附台1上设有至少三个吸附工位11。
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