亿威盛半导体科技(上海)有限公司丁双伟获国家专利权
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龙图腾网获悉亿威盛半导体科技(上海)有限公司申请的专利一种半导体零部件用可调式清洗工装获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223916248U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520383053.X,技术领域涉及:B08B13/00;该实用新型一种半导体零部件用可调式清洗工装是由丁双伟;张耀文;司思其设计研发完成,并于2025-03-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体零部件用可调式清洗工装在说明书摘要公布了:本实用新型涉及半导体零部件加工设备领域,尤其是一种半导体零部件用可调式清洗工装,其包括放置层板、夹持机构及承重架,放置层板包括多个平行且同轴分布的层板,各层板可拆卸地安装在承重架上,各层板上贯穿设置透水孔;夹持机构设置在各层板上,所述夹持机构包括滑移导轨及定位架,定位架可移动地设置在滑移导轨上,所述定位架成对设置,且每对定位架的相对内侧设置用以容置零部件的夹持位。本实用新型通过多个间隔设置的层板,可以同时夹持多个圆盘形或环形零部件,有效提高清洗效率;夹持机构的适用尺寸可调,层板的数量、间隔可调,可以满足不同尺寸、不同高度及多种形状的零部件清洗要求,适用范围广。
本实用新型一种半导体零部件用可调式清洗工装在权利要求书中公布了:1.一种半导体零部件用可调式清洗工装,其特征在于,包括放置层板、夹持机构及承重架31,所述放置层板包括多个平行且同轴分布的层板,相邻层板之间设置间隔,各层板可拆卸地安装在承重架31上,各层板上贯穿设置透水孔14;夹持机构设置在各层板上,所述夹持机构包括滑移导轨21及定位架22,所述滑移导轨21呈十字型设置在层板上,定位架22可移动地设置在滑移导轨21上,所述定位架22成对设置,且每对定位架22的相对内侧设置用以容置零部件的夹持位;所述定位架22上设置紧固机构。
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