威欣系统股份有限公司黄泳钊获国家专利权
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龙图腾网获悉威欣系统股份有限公司申请的专利用于FOUP的清洁系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223916231U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520152718.6,技术领域涉及:B08B9/30;该实用新型用于FOUP的清洁系统是由黄泳钊;谢旻浩;许志豪;郭金柱设计研发完成,并于2025-01-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于FOUP的清洁系统在说明书摘要公布了:一种用于FOUP的清洁系统,包含用以在外界与清洁空间之间移送FOUP的输入输出装置、设置在清洁空间内的机械手臂与开关门装置,及控制装置。所述开关门装置包括开关模块及扭力感测模块。所述开关模块具有多个可被驱转以驱动FOUP的锁具解锁的开关件。所述扭力感测模块可感测每一个开关件被驱转时承受的扭力。所述控制装置会于判断其中一个开关件的所述扭力大于等于阈值时,控制所述开关件反转驱动所述锁具上锁。通过所述扭力感测模块可感测所述开关件被控制解锁时所承受的扭力的设计,可在解锁所述FOUP时,避免发生强制驱动已异常的锁具,造成整个FOUP故障无法开启的情况。
本实用新型用于FOUP的清洁系统在权利要求书中公布了:1.一种用于FOUP的清洁系统,适用于设置在清洁空间,所述FOUP包括互相组接的盒本体与门体,所述门体具有盖封所述盒本体的门板,及多个设置在所述门板外侧面的锁具,所述清洁系统包含用于在外界与所述清洁空间之间移送所述FOUP的输入输出装置、设置在所述清洁空间内的机械手臂与开关门装置,及信号连接所述输入输出装置、所述开关门装置与所述机械手臂的控制装置,其特征在于:所述开关门装置包括供所述FOUP以所述门体朝下的方式放置的承载平台、设置在所述承载平台的开关模块,及扭力感测模块,所述开关模块具有多个能被控制往上突伸而分别插入所述锁具的开关件,且所述开关模块能被所述控制装置控制,而以所述开关件旋转驱动所述锁具解锁,所述扭力感测模块包括多个分别连结于所述开关件的扭力传感器,每一个所述扭力传感器能感测对应的所述开关件被驱转时承受的扭力;所述控制装置能控制所述机械手臂将所述输入输出装置输入所述清洁空间的所述FOUP移送至所述承载平台,所述控制装置会于判断其中一个所述扭力传感器测得的所述扭力大于等于阈值时,控制所述开关件反转驱动所述锁具上锁。
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