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龙图腾网获悉长电(深圳)自动化设备有限公司申请的专利一种槽式晶圆清洗机用超声波清洗槽获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223916139U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520414113.X，技术领域涉及：B08B3/12；该实用新型一种槽式晶圆清洗机用超声波清洗槽是由谢高军设计研发完成，并于2025-03-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种槽式晶圆清洗机用超声波清洗槽在说明书摘要公布了：本实用新型涉及晶圆制造技术领域，公开了一种槽式晶圆清洗机用超声波清洗槽，包括超声波清洗槽主体，所述超声波清洗槽主体的内壁固定套设有超声波振动面板，所述超声波清洗槽主体的下端内壁开设有多个安装槽，所述安装槽内设置有超声波换能器，所述超声波换能器与超声波振动面板固定连接，所述超声波清洗槽主体上设置有清洗剂循环机构，所述清洗剂循环机构上设置有装卸机构，所述清洗剂循环机构包括清洗剂存放箱和连接框。本实用新型中，通过设置的清洗剂循环机构则可以达到对清洗剂循环使用的目的，从而达到更好的环保性，且通过设置的装卸机构则可以对过滤网进行快速更换，从而保证清洗剂内杂质被滤出的效率，具有更好的使用性。

本实用新型一种槽式晶圆清洗机用超声波清洗槽在权利要求书中公布了：1.一种槽式晶圆清洗机用超声波清洗槽，包括超声波清洗槽主体1，其特征在于：所述超声波清洗槽主体1的内壁固定套设有超声波振动面板2，所述超声波清洗槽主体1的下端内壁开设有多个安装槽3，所述安装槽3内设置有超声波换能器4，所述超声波换能器4与超声波振动面板2固定连接，所述超声波清洗槽主体1上设置有清洗剂循环机构5，所述清洗剂循环机构5上设置有装卸机构6； 所述清洗剂循环机构5包括清洗剂存放箱501和连接框508，所述清洗剂存放箱501固定连接在超声波清洗槽主体1的一侧外壁上，所述清洗剂存放箱501的上下端面均固定连接有一号水泵502和二号水泵504，所述一号水泵502和二号水泵504的输出端分别固定连接有进水管503和出水管505，所述进水管503的一端固定套设在超声波清洗槽主体1的一侧，所述出水管505的外壁靠下处固定套设有下固定框509，所述超声波清洗槽主体1的下端面一侧固定连接有排水管511，所述排水管511的外壁套设有上固定框507，所述下固定框509内设置有过滤网510，所述排水管511的外壁固定设置有截止阀506。

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