威欣系统股份有限公司黄泳钊获国家专利权
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龙图腾网获悉威欣系统股份有限公司申请的专利用于FOUP组成构件的清洗设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223916080U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520153046.0,技术领域涉及:B08B3/02;该实用新型用于FOUP组成构件的清洗设备是由黄泳钊;谢旻浩;许志豪;郭金柱设计研发完成,并于2025-01-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于FOUP组成构件的清洗设备在说明书摘要公布了:一种用于FOUP组成构件的清洗设备,包含清洗槽机构,及安装在所述清洗槽机构的承载机构与喷水机构,所述承载机构包括设置在清洗槽机构内且用于承载FOUP的盒本体或盖板的转盘模块,及连结于转盘模块的驱转模块。所述驱转模块可用于传动所述转盘模块带动所述盒本体或所述盖板旋转。所述喷水机构包括上下间隔设置在所述清洗空间内,而分别位于所述转盘模块承载的所述盒本体或所述盖板的上方与下方的上喷水器与下喷水器。通过安装在所述清洗槽机构的所述承载机构与所述喷水机构的结构设计,可用于进行所述盒本体或所述盖板的旋转清洗,能提高FOUP的盒本体与盖板的清洁效果。
本实用新型用于FOUP组成构件的清洗设备在权利要求书中公布了:1.一种用于FOUP组成构件的清洗设备,适用于连通组接用于供给清洗水液的供水设备,而能用于进行FOUP的盒本体或盖板的清洗,所述清洗设备包含清洗槽机构,及安装在所述清洗槽机构内的喷水机构,所述清洗槽机构的内部界定出用于容置所述盒本体或所述盖板的清洗空间,其特征在于:所述清洗设备还包含安装在所述清洗槽机构的清洗空间内的承载机构,所述承载机构包括能转动地设置在所述清洗空间内且用于承载所述盒本体或所述盖板的转盘模块,及安装在所述清洗槽机构且连结于所述转盘模块的驱转模块,所述驱转模块能被控制以传动所述转盘模块带动所述盒本体或所述盖板旋转;所述喷水机构用于连通组接于所述供水设备,包括上下间隔设置在所述清洗空间内,而分别位于所述转盘模块承载的所述盒本体或所述盖板的上方与下方的上喷水器与下喷水器,所述上喷水器能用于往下朝所述盒本体或所述盖板喷洒所述清洗水液,所述下喷水器能用于往上朝所述盒本体或所述盖板喷洒所述清洗水液。
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