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龙图腾网获悉长电(深圳)自动化设备有限公司申请的专利一种晶圆刷清机用毛刷机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223916039U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520420817.8，技术领域涉及：B08B1/12；该实用新型一种晶圆刷清机用毛刷机构是由谢高军设计研发完成，并于2025-03-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆刷清机用毛刷机构在说明书摘要公布了：本实用新型涉及晶圆刷清机技术领域，公开了一种晶圆刷清机用毛刷机构，包括安装板、卡接机构和安装块，所述安装板上端的一侧设置有第一滑动块，所述第一滑动块另一侧下部的前端和后端开设有T型槽，所述安装块上表面的中部固定连接有T型块，所述T型块另一侧的内部固定连接有第二伺服电机。本实用新型中，通过第二伺服电机控制转动杆的旋转，实现刷轴上毛刷本体的转动，提升了晶圆清洗的精度，同时，T型块与T型槽的滑动贴合以及转动杆与放置槽的紧密配合，增强了机构的稳定性，减少了清洗过程中的振动，而插槽、限位槽、安装槽、连接槽和卡接机构的设计使得转动杆的取出变得便捷，方便了刷轴和毛刷本体的拆卸与更换。

本实用新型一种晶圆刷清机用毛刷机构在权利要求书中公布了：1.一种晶圆刷清机用毛刷机构，包括安装板1、卡接机构6和安装块7，其特征在于：所述安装板1上端的一侧设置有第一滑动块3，所述第一滑动块3另一侧下部的前端和后端开设有T型槽301，所述安装块7上表面的中部固定连接有T型块701，所述T型块701另一侧的内部固定连接有第二伺服电机8，所述第二伺服电机8的输出端贯穿安装块7至安装块7的另一侧并固定连接有转动杆801，所述转动杆801的外壁固定连接有刷轴802，所述安装板1上端的另一侧设置有第二滑动块4，所述第二滑动块4一侧外壁的下部开设有放置槽401，所述转动杆801的另一侧与放置槽401后端的内壁紧密贴合，所述第二滑动块4上表面和下表面一侧的前端均开设有插槽402，所述插槽402的内壁紧密贴合有插块5，所述插块5上端外壁的中部均开设有两个限位槽501，所述第二滑动块4前端外壁一侧的上端和后端均开设有安装槽403，所述第二滑动块4前端外壁一侧的中部开设有两个连接槽404，所述卡接机构6后端外壁的上端和下端均固定连接有复位弹簧601，所述复位弹簧601均位于安装槽403的内部，所述复位弹簧601的后端均与安装槽403后端的内壁固定连接，所述卡接机构6后端外壁的中部均固定连接有两个限位杆602，所述限位杆602的后端均贯穿连接槽404和限位槽501至插槽402的内部，所述限位杆602后端的外壁均与连接槽404和限位槽501的内壁滑动贴合。

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