浙江碳马科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江碳马科技有限公司申请的专利一种微孔陶瓷吸附载台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223915844U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423318034.3，技术领域涉及：B05C13/02；该实用新型一种微孔陶瓷吸附载台是由请求不公布姓名;李明菊;汪晖;邹方赢;颜婷设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种微孔陶瓷吸附载台在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种微孔陶瓷吸附载台，包括带吸附孔的陶瓷板，且陶瓷板的周向设置有封闭机构，所述封闭机构连接负压管，且封闭机构包裹在陶瓷板的周向，以便负压状态下陶瓷板将上侧的柔性薄膜吸附平整。相对于一般带孔吸附组件，陶瓷板孔更多，更均匀，间隙小，吸附效果好，提高了沉积效果。封闭机构主要用于形成封闭腔，便于产生向下的吸力。陶瓷板吸附孔的口径3‑4μm，平面度可做到0.01mm，很好的解决了吸附柔性材料的时候出现凹陷不平的现象，而且整个面都是布满吸附微孔，更好的保证了吸附面的均匀性。
本实用新型一种微孔陶瓷吸附载台在权利要求书中公布了：1.一种微孔陶瓷吸附载台，其特征在于，包括带吸附孔的陶瓷板1，且陶瓷板1的周向设置有封闭机构，所述封闭机构连接负压管，且封闭机构包裹在陶瓷板1的周向，以便负压状态下陶瓷板1将上侧的柔性薄膜吸附平整； 所述封闭机构包括包裹在陶瓷板1周向上的围板2，且围板2的周向上开设有与负压管连接的负压孔3； 所述围板2的上端水平延伸形成支撑部，所述支撑部上设置有刻度线4，还包括与刻度线4相垂直的位置测量机构，所述测量机构包括垂直搭在刻度线4上的刻度尺6，且刻度尺6的末端向下弯折形成导向块，所述导向块上螺纹连接有内端抵紧围板2的旋钮7。
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