哈尔滨工业大学(深圳)(哈尔滨工业大学深圳科技创新研究院)邓亚杰获国家专利权
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龙图腾网获悉哈尔滨工业大学(深圳)(哈尔滨工业大学深圳科技创新研究院)申请的专利一种用于旋转床式PEALD的超声振动装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223915383U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520205965.8，技术领域涉及：B01J19/10；该实用新型一种用于旋转床式PEALD的超声振动装置是由邓亚杰;杨轩;符倡瑞;叶思音;杨树天;苏津津;林思静;陈灿强;曹勇;冯宇;纪纬设计研发完成，并于2025-02-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于旋转床式PEALD的超声振动装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种用于旋转床式PEALD的超声振动装置，包括：导电滑环、振动模块、反应腔和信号发生器，所述反应腔设置于旋转床式PEALD装置的外壳内，所述振动模块设置于所述反应腔的底部，与所述信号发生器电性连接，所述导电滑环包括导电滑环转子和导电滑环定子，所述导电滑环定子与所述旋转床式PEALD装置的外壳固定连接，并与所述信号发生器电性连接，所述导电滑环转子固设于所述反应腔的外周，随所述反应腔一起转动。本实用新型改进了粉体材料在PEALD反应过程中颗粒团聚的问题，减少了旋转床PEALD设备的粉末粘结，提高了粉末颗粒处理效率以及涂层生成质量。
本实用新型一种用于旋转床式PEALD的超声振动装置在权利要求书中公布了：1.一种用于旋转床式PEALD的超声振动装置，其特征在于，包括：导电滑环、振动模块、反应腔和信号发生器，所述反应腔设置于旋转床式PEALD装置的外壳内，所述振动模块设置于所述反应腔的底部，与所述信号发生器电性连接，所述导电滑环包括导电滑环转子和导电滑环定子，所述导电滑环定子与所述旋转床式PEALD装置的外壳固定连接，并与所述信号发生器电性连接，所述导电滑环转子固设于所述反应腔的外周，随所述反应腔一起转动。
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