常州诚鉺正环保技术有限公司陈逵获国家专利权
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龙图腾网获悉常州诚鉺正环保技术有限公司申请的专利一种适用于干式刻蚀设备的防堵塞气体处理装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223915057U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520523124.1，技术领域涉及：B01D53/18；该实用新型一种适用于干式刻蚀设备的防堵塞气体处理装置是由陈逵;金大正;许可;朱志伟设计研发完成，并于2025-03-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种适用于干式刻蚀设备的防堵塞气体处理装置在说明书摘要公布了：本申请涉及一种适用于干式刻蚀设备的防堵塞气体处理装置，属于气体处理技术领域，其包括进气管道和废气处理箱，所述进气管道与废气处理箱连接，所述废气处理箱内存有用于净化废气的液体，所述进气管道上设有清理装置和气幕装置，所述清理装置用于对进气管道内壁附着的杂质进行清理，所述气幕装置利用气体形成气幕以阻挡水汽移动至进气管道内。在对废气进行净化处理过程中，清理装置对附着于管道的内壁的杂质进行自动清理，气幕装置在管道内形成气幕后，对废气处理箱内逸出的水汽进行阻挡，有助于减少形成附着于管道内壁的杂质，有效提高清理的便捷性。
本实用新型一种适用于干式刻蚀设备的防堵塞气体处理装置在权利要求书中公布了：1.一种适用于干式刻蚀设备的防堵塞气体处理装置，其特征在于：包括进气管道2和废气处理箱1，所述进气管道2与废气处理箱1连接，所述废气处理箱1内存有用于净化废气的液体，所述进气管道2上设有清理装置6和气幕装置7，所述清理装置6用于对进气管道2内壁附着的杂质进行清理，所述气幕装置7利用气体形成气幕以阻挡水汽移动至进气管道2内。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人常州诚鉺正环保技术有限公司，其通讯地址为：213000 江苏省常州市新北区薛家镇正强路6号3幢；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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