深圳技术大学韩继德获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳技术大学申请的专利一种激光与等离子体协同抛光装置及抛光方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121339695B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511924678.3,技术领域涉及:B23K26/352;该发明授权一种激光与等离子体协同抛光装置及抛光方法是由韩继德;杨焕;李春波设计研发完成,并于2025-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种激光与等离子体协同抛光装置及抛光方法在说明书摘要公布了:本申请涉及激光抛光技术领域,公开了一种激光与等离子体协同抛光装置及抛光方法,包括:第一光路,用于传输第一激光;第二光路,用于传输第二激光;合束聚焦组件,设置在第一光路的出光侧和第二光路的出光侧,将第一激光和第二激光合束并分别使第一激光聚焦形成第一焦点、第二激光聚焦形成第二焦点;第一焦点位于待抛光样品的表面的第一高度处,第二焦点位于待抛光样品的表面的第二高度处;通过先聚焦的第二激光用于对待抛光样品的表面进行预热活化,通过后聚焦的第一激光用于产生等离子体对预热的抛光样品进行抛光。解决现有技术中直接通过激光加工样品表面而导致表面粗糙度较大、无法达到光学级或原子级的表面粗糙度的问题。
本发明授权一种激光与等离子体协同抛光装置及抛光方法在权利要求书中公布了:1.一种激光与等离子体协同抛光装置,其特征在于,包括: 第一光路,所述第一光路用于传输第一激光; 第二光路,所述第二光路用于传输第二激光,其中所述第一激光延迟于所述第二激光; 合束聚焦组件,所述合束聚焦组件设置在所述第一光路的出光侧和所述第二光路的出光侧,以将所述第一激光和第二激光合束并分别使所述第一激光聚焦形成第一焦点、第二激光聚焦形成第二焦点; 其中,所述第一焦点位于待抛光样品的表面的第一高度处,所述第二焦点位于待抛光样品的表面的第二高度处,所述第二高度小于所述第一高度; 通过先聚焦的所述第二激光用于对待抛光样品的表面进行预热活化,通过后聚焦的所述第一激光用于产生等离子体对预热的所述抛光样品进行抛光; 所述第一高度H1为: 其中,Ep代表第一激光的单脉冲激光能量,ρ0代表环境气体的密度,k 为综合系数; 所述第二高度H2为: 其中,为光束束腰半径,为第二激光的波长; 所述第一激光延迟于所述第二激光的延迟时间Δt为: H1为第一高度,vs为等离子体冲击波在环境气体中的传播速度,τth为抛光样品表面被第二激光活化所需的热弛豫时间。
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