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龙图腾网获悉锦州海普新材料有限公司申请的专利一种石英玻璃沉积砣料直径测量方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121207056B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511757043.9，技术领域涉及：G01B11/08；该发明授权一种石英玻璃沉积砣料直径测量方法是由王海亮;张源;崔超;张海军;张国武;徐秀杰;刘利;杨阳;张野;李建新;王雅明;雷阳;高仙羽设计研发完成，并于2025-11-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种石英玻璃沉积砣料直径测量方法在说明书摘要公布了：本发明涉及沉积砣料直径测量技术领域，尤其涉及一种石英玻璃沉积砣料直径测量方法，包括：将气态原料和燃料气体送入沉积炉上方的喷灯；获取氯化氢气体和二氧化硅微粉的红外光谱图；根据氯化氢气体和二氧化硅微粉的重合吸收峰的比例以及二氧化硅微粉的吸收峰的强度确定散射误差程度和红外监测值的补偿量；获取增加补偿量的氯化氢气体的第一红外监测值；根据发生回弹条件下的第二红外监测值确定沉积炉内壁的竖直方向上的红外监测点位；将氯化氢气体的浓度转化为沉积砣料的初始直径；获取沉积炉底部的气体收集机构的氯化氢气体的实时增加量并计算石英玻璃沉积砣料的实时生长直径。本发明实现了沉积砣料的生长直径测量准确性提升。

本发明授权一种石英玻璃沉积砣料直径测量方法在权利要求书中公布了：1.一种石英玻璃沉积砣料直径测量方法，其特征在于，包括： 将气态原料和燃料气体送入沉积炉上方的喷灯，以燃烧产生氯化氢气体和二氧化硅微粉； 获取所述氯化氢气体和所述二氧化硅微粉的红外光谱图； 根据所述氯化氢气体和所述二氧化硅微粉的重合吸收峰的比例以及所述重合吸收峰中二氧化硅微粉的吸收峰的强度，确定散射误差程度； 响应于所述散射误差程度以确定所述氯化氢气体经补偿后的第一红外监测值； 获取增加补偿量的所述氯化氢气体在水平方向上发生回弹条件下的第二红外监测值； 根据发生回弹条件下的所述第二红外监测值确定沉积炉内壁的竖直方向上的红外监测点位； 基于所述红外监测点位上的氯化氢气体的浓度与沉积砣料的初始直径的映射关系确定沉积砣料的初始直径； 基于所述初始直径满足初始计算条件，获取沉积炉底部的气体收集机构的氯化氢气体的实时增加量； 根据所述初始直径和所述氯化氢气体的实时增加量计算石英玻璃沉积砣料的实时生长直径，所述初始直径的计算公式为： ； 其中，m为二氧化硅微粉的质量，ρ为二氧化硅沉积层的密度，h为沉积砣料的当前高度，所述实时生长直径为所述初始直径与所述氯化氢气体实时增加量和沉积砣料直径增长系数的乘积的和，驱动装置包括设置在沉积炉内部的底盘和旋转卡盘，用以使喷灯火焰产生的二氧化硅微粉沉积在砣料的整个圆周表面上，其中，旋转卡盘与贯穿沉积炉的底部的驱动轴相连，并由设置于沉积炉外部的驱动装置驱动旋转卡盘6作旋转与升降运动，其中，在沉积过程中，旋转卡盘根据沉积砣料的生长直径以对应速度向下移动。

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