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龙图腾网获悉上海车仪田科技有限公司申请的专利光谱数据的优化方法及其装置、计算机设备及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121188464B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511726601.5，技术领域涉及：G06F18/213；该发明授权光谱数据的优化方法及其装置、计算机设备及存储介质是由刘新阳;张黎明设计研发完成，并于2025-11-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本光谱数据的优化方法及其装置、计算机设备及存储介质在说明书摘要公布了：本申请提供了一种光谱数据的优化方法及其装置、计算机设备及存储介质，涉及半导体检测技术领域，本申请获取光谱仪输出的原始光谱数据，计算每一帧原始光谱数据的中心波长值，并根据中心波长值从预设的数据库中查询得到对应的仪器线型函数；再采用反卷积算法，处理每一帧原始光谱数据和其对应的仪器线型函数，得到优化后的真实光谱数据。采用上述方案，本申请通过对每帧光谱数据进行算法补偿，能在全谱范围内精确补偿光谱仪自身引入的系统失真，大幅提高了光谱特征的提取精度，实现了测量精度的数量级提升；此外，优化后的光谱数据更真实地反映了被测样品的物理特性，降低了光学模型对经验参数的依赖，提升了模型泛化能力和预测可靠性。

本发明授权光谱数据的优化方法及其装置、计算机设备及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种光谱数据的优化方法，其特征在于，适用于半导体外延生长设备的原位监测系统，所述原位监测系统包括光谱仪，所述方法包括: 获取所述光谱仪输出的原始光谱数据； 针对每一帧原始光谱数据，计算其中心波长值； 根据各所述中心波长值，从预设的数据库中查询得到对应的仪器线型函数；其中，所述仪器线型函数包括模型参数，且所述模型参数为随波长连续变化的参数函数，所述模型参数包括幅度、高斯半宽参数、洛伦兹半宽参数以及背景偏移； 采用反卷积算法，处理每一帧原始光谱数据和其对应的仪器线型函数，得到优化后的真实光谱数据，所述真实光谱数据用于输入光学模型中以反演得到晶圆的外延生长参数； 其中，预先设置所述数据库的方式，包括： 在所述光谱仪的测量波长范围内，选取多个离散的校准波长点； 采用标准参考光源在每一校准波长点进行测量，得到测量数据；其中，所述标准参考光源在各校准波长点的发射线宽小于所述光谱仪的分辨率； 基于沃伊特函数模型，对各校准波长点的测量数据进行拟合，以确定该校准波长点下沃伊特函数模型的模型参数的拟合参数值； 采用插值算法，对所有模型参数的拟合参数值进行连续插值，生成在所述测量波长范围内随波长连续变化的目标参数函数； 根据各目标参数函数，生成随波长连续变化的仪器线型函数，并存储为所述数据库。

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