买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉合光光掩模科技(安徽)有限公司申请的专利光掩模白边宽度的测量方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121165391B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511726354.9，技术领域涉及：G03F1/84；该发明授权光掩模白边宽度的测量方法是由詹子明;胡绢敏设计研发完成，并于2025-11-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本光掩模白边宽度的测量方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种光掩模白边宽度的测量方法，包括：提供一光掩模，获得光掩模中一图案的二次电子信号曲线；获得二次电子信号曲线的突变点，突变点包括白边起始点和白边终止点；根据白边起始点和白边终止点设置第一阈值范围和第二阈值范围，并根据若干个第一阈值分别获得二次电子信号曲线对应的第一特征峰宽度，以及根据若干个第二阈值分别获得二次电子信号曲线对应的第二特征峰宽度；在若干个阈值组合中获得最佳阈值组合以及获得光掩模的材料系数；获得光掩模中图案的白边宽度；本发明实现对光掩模白边宽度的测量，能够提高测量的准确性，结合材料系数使得测量结果适应不同光掩模材料。

本发明授权光掩模白边宽度的测量方法在权利要求书中公布了：1.一种光掩模白边宽度的测量方法，其特征在于，包括： 提供一光掩模，所述光掩模中具有若干图案，获得所述光掩模中一图案的二次电子信号曲线； 获得所述二次电子信号曲线的突变点，所述突变点包括白边起始点和白边终止点； 根据所述白边起始点和所述白边终止点设置第一阈值范围和第二阈值范围，所述第一阈值范围内包括若干个第一阈值，所述第二阈值范围内包括若干个第二阈值，每个所述第一阈值具有对应的所述第二阈值以作为一个阈值组合，并根据若干个所述第一阈值分别获得所述二次电子信号曲线对应的第一特征峰宽度，所述二次电子信号曲线中所述第一阈值对应的两个特征峰的间距作为所述第一特征峰宽度，以及根据若干个所述第二阈值分别获得所述二次电子信号曲线对应的第二特征峰宽度，所述二次电子信号曲线中所述第二阈值对应的两个特征峰的间距作为所述第二特征峰宽度； 在若干个所述阈值组合中获得最佳阈值组合以及获得所述光掩模的材料系数； 根据所述最佳阈值组合获得的第一特征峰宽度和第二特征峰宽度的差值与所述材料系数的乘积，获得所述光掩模中图案的白边宽度； 其中，在若干个所述阈值组合中获得最佳阈值组合以及获得所述光掩模的材料系数的步骤包括： 提供若干标准样品，获得若干所述标准样品的白边宽度； 根据每个所述阈值组合获得若干所述标准样品分别对应的第一特征峰宽度和第二特征峰宽度的差值； 根据每个所述阈值组合获得的若干所述标准样品分别对应的第一特征峰宽度和第二特征峰宽度的差值和若干所述标准样品的白边宽度进行拟合，以获得每个所述阈值组合对应的拟合系数和拟合程度表征值，并获得最大的所述拟合程度表征值对应的所述阈值组合以作为所述最佳阈值组合，以所述最佳阈值组合对应的拟合系数作为所述材料系数。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人合光光掩模科技(安徽)有限公司，其通讯地址为：230601 安徽省合肥市合肥经济技术开发区奔牛路100号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。