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龙图腾网获悉浙江陶特容器科技股份有限公司申请的专利高效稳定加热式固态前驱体源瓶获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121109993B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511634550.3，技术领域涉及：C23C16/448；该发明授权高效稳定加热式固态前驱体源瓶是由范广鹏;施天翔;杨孝欢;朱梦玉;李胜帅;谈益强设计研发完成，并于2025-11-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本高效稳定加热式固态前驱体源瓶在说明书摘要公布了：本发明公开了高效稳定加热式固态前驱体源瓶，涉及半导体制造技术领域，包括腔体模块，腔体模块由左腔体和右腔体构成，且腔体模块内部配备排气模块，该排气模块可使输入的载气以覆盖式流动，从而均匀地与左腔体内部的固态前驱体接触，左腔体专门用于固态前驱体的存储与挥发反应，能为前驱体提供适配的加热与挥发空间，减少因空间受限导致的局部堆积；右腔体则专注于气体的纯净输运，其内壁抛光处理进一步降低了前驱体气体在腔壁的吸附残留，避免残留气体与新生成气体混合导致的浓度波动，这种分离结构不仅大幅降低了固体源的残留量。

本发明授权高效稳定加热式固态前驱体源瓶在权利要求书中公布了：1.高效稳定加热式固态前驱体源瓶，包括腔体模块1，其特征在于：所述腔体模块1由左腔体11和右腔体13构成，且腔体模块1内部配备排气模块2，该排气模块2可使输入的载气以覆盖式流动，形成左腔体11进行储源反应、右腔体13进行纯净输运的分离式结构设计；所述左腔体11顶部连通载气进口4，作为载气输入通道，所述排气模块2包括装配于左腔体11内部的输出盘21，所述载气进口4位于输出盘21的正上方位置处，且所述输出盘21的表面均匀贯穿开设有圆孔接口管22，所述圆孔接口管22的孔位布局以输出盘21的圆心为基准，呈内、中、外三层同心圆分布，且孔位数量沿径向由内向外呈递增趋势，即外层圆孔数量多于中层，中层多于内层；与之形成反向匹配的是孔径尺寸，沿径向由内向外呈递减趋势，即内层圆孔孔径大于中层，中层大于外层；所述输出盘21采用以中心为对称点的凹陷式斜面结构，其轮廓从边缘区域向中心轴线呈平缓内凹形态，形成对称的斜面布局，但均匀分布于内、中、外三层的圆孔接口管22，其气体输出端面保持在同一水平面，依托接口端面的共面性确保各层圆孔输出气流的初始高度一致；所述左腔体11内部的中心位置处固定连接有分散盘23，分散盘23整体由导热材质构成，并通过左腔体11侧壁与加热组件形成热连接，所述分散盘23的表面均匀开设有贯穿圆孔24，且所述分散盘23的边缘呈向内倾斜倒角设计。

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