清软微视(杭州)科技有限公司周继乐获国家专利权
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龙图腾网获悉清软微视(杭州)科技有限公司申请的专利一种芯粒图案缺陷检测方法及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121095261B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511662017.8,技术领域涉及:G06T7/00;该发明授权一种芯粒图案缺陷检测方法及系统是由周继乐;陈仕江;陈凯;冯秋晨设计研发完成,并于2025-11-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种芯粒图案缺陷检测方法及系统在说明书摘要公布了:本发明提供了一种芯粒图案缺陷检测方法及系统,通过获取芯粒图案,根据芯粒图案,定位同类型芯粒并计算均值图和标准差图;对标准差图进行形态学膨胀,得到膨胀标准差图,并对膨胀标准差图进行k次幂计算,生成增强标准差图;根据均值图和增强标准差图,确定正态分布芯粒叠图的Z‑score值;根据正态分布芯粒叠图的Z‑score值,通过双阈值策略分别定位亮缺陷区域与暗缺陷区域,具体的,通过膨胀操作降低边缘区域的标准正态分布得分,抑制定位误差导致的误检,另外,通过幂次变换选择性增强边缘区域的标准差,进一步区分真实缺陷与边缘噪声。
本发明授权一种芯粒图案缺陷检测方法及系统在权利要求书中公布了:1.一种芯粒图案缺陷检测方法,其特征在于,所述方法包括: 获取芯粒图案,根据所述芯粒图案,定位同类型芯粒并计算均值图和标准差图; 对所述标准差图进行形态学膨胀,得到膨胀标准差图,并对所述膨胀标准差图进行k次幂计算,生成增强标准差图,其中,k的取值范围为 1,2]; 根据所述均值图和所述增强标准差图,确定正态分布芯粒叠图的Z‑score值; 根据所述正态分布芯粒叠图的Z‑score值,通过双阈值策略分别定位亮缺陷区域与暗缺陷区域。
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