四川省机械研究设计院(集团)有限公司刘雪垠获国家专利权
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龙图腾网获悉四川省机械研究设计院(集团)有限公司申请的专利一种发动机叶片用大功率电子束物理气相沉积室系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121046790B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511577741.0,技术领域涉及:C23C14/30;该发明授权一种发动机叶片用大功率电子束物理气相沉积室系统是由刘雪垠;肖夏;郭恒;张衡镜;杨戴蔚;陈健;曾梦玮;闵自强设计研发完成,并于2025-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种发动机叶片用大功率电子束物理气相沉积室系统在说明书摘要公布了:本发明涉及电子束气相沉积技术领域,涉及一种发动机叶片用大功率电子束物理气相沉积室系统,包括:沉积室主体,其内部形成第一腔室和第二腔室,第二腔室位于第一腔室外侧;沉积室主体的侧壁形成连通装载结构的进出料口,以及用以设置电子枪的连接位,进出料口和连接位处均设置有挡片组件;靶材输送装置,包括回转组件和升降组件,靶材从沉积室主体上的靶材口进入第一腔室,靶材的外部还套设有密封管。通过改进了气相沉积室的组成结构,在实现气相沉积室的第一腔室内部气相沉积操作的同时,还能够通过第二腔室的冷却介质进行温度控制,保持第一腔室的整体环境温度,从而保障气相沉积处理过程的稳定可靠;如此可使气相沉积工艺更为灵活简单。
本发明授权一种发动机叶片用大功率电子束物理气相沉积室系统在权利要求书中公布了:1.一种发动机叶片用大功率电子束物理气相沉积室系统,其特征在于,包括: 沉积室主体1,其内部形成用以进行气相沉积的第一腔室108,和用以通入冷却介质的第二腔室107,所述第二腔室107位于第一腔室108外侧;沉积室主体1的侧壁形成连通装载结构的进出料口103,以及用以设置电子枪的连接位106,所述进出料口103和连接位106处均设置有挡片组件; 靶材输送装置2,包括用以带动靶材回转的回转组件,和用以带动靶材升降的升降组件,靶材从沉积室主体1上的靶材口进入第一腔室108,靶材的外部还套设有密封管206; 所述挡片组件包括设置于进出料口103的剪刀挡片5,所述剪刀挡片5包括两个相互铰接并相对开合的轴挡片505,轴挡片505上对应设置有槽口506,当轴挡片505合拢时形成轴孔并用以夹持配合输送产品的送料轴;还包括用以提供开合动力的开合驱动器501,开合驱动器501的伸缩驱动轴502与传动臂503铰接并通过传动臂503一一带动轴挡片505,当伸缩驱动轴502往复动作时,轴挡片505张开或合拢。
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