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龙图腾网获悉四川省机械研究设计院(集团)有限公司申请的专利一种发动机叶片用大功率电子束物理气相沉积设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121046787B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511577632.9，技术领域涉及：C23C14/30；该发明授权一种发动机叶片用大功率电子束物理气相沉积设备是由刘雪垠;张衡镜;闵自强;杨戴蔚;肖夏;曾梦玮;陈健设计研发完成，并于2025-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种发动机叶片用大功率电子束物理气相沉积设备在说明书摘要公布了：本发明涉及电子束物理气相沉积技术领域，具体涉及一种发动机叶片用大功率电子束物理气相沉积设备，包括沉积室系统，其中气相沉积室设置至少两处电子枪连接位，和若干处偏转封闭结构，至少两处偏转封闭结构与电子枪连接位一一对应并用以封闭或开启气相沉积室壁面结构；电子枪，包括可互换的热发射电子枪和场发射电子枪；发射电源，包括热发射电源和场发射电源；真空系统，用以调整气相沉积室真空度；靶材沉积系统，用以提供靶材。通过热发射电子枪和场发射电子枪的同步设置和互换实用，能够兼顾更多的工况条件，应对多种材料和工艺需求，满足气相沉积操作处理的高效快捷；减少设备停机时间和维护成本，提高设备的灵活性和适用性。

本发明授权一种发动机叶片用大功率电子束物理气相沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种发动机叶片用大功率电子束物理气相沉积设备，其特征在于，包括： 沉积室系统，包括设置有安装面103的气相沉积室1，所述安装面103上设置有至少两处电子枪连接位，气相沉积室1内设置有若干处偏转封闭结构，至少两处偏转封闭结构与电子枪连接位一一对应并用以封闭或开启包括电子枪连接位在内的气相沉积室1壁面结构； 电子枪2，包括配合至电子枪连接位的热发射电子枪和或场发射电子枪，热发射电子枪和场发射电子枪通过相同的配合结构201与电子枪连接位配合并实现互换； 发射电源6，包括为热发射电子枪供电的热发射电源，和为场发射电子枪供电的场发射电源； 真空系统3，与气相沉积室1连通配合并用以调整气相沉积室1的真空度； 靶材沉积系统15，用以向气相沉积室1提供靶材，靶材接受电子束轰击后蒸发并在发动机叶片表面成膜； 还包括用以装卸和预处理发动机叶片的双装载室系统，所述双装载室系统包括两处装载室4并分别设置在气相沉积室1两侧，装载室4与气相沉积室1的连通处设置隔离舱门11用以控制通断；所述装载室4连接真空系统3和充气组件，真空系统3和充气组件用以调节装载室4内的气压，装载室4内还设置有用以对发动机叶片进行预热的原位辐射加热装置； 所述的原位辐射加热装置包括相对设置的两块加热单元，加热单元在加热驱动器401的带动下相互靠近或远离；所述加热单元包括一组与加热驱动器401连接配合并同步动作的闸阀404，闸阀404连接并同步带动加热壳体405动作，所述加热壳体405上设置有保温层406和加热元件407；当相对两块加热单元靠近后，闸阀404合拢形成加热腔，所述加热元件407对位于加热腔内的发动机叶片进行加热； 还包括用以驱动发动机叶片移动和调整姿态的双进料系统，双进料系统包括两处进料装置5并分别位于两处装载室4的外侧；所述进料装置5包括直线位移组件，所述直线位移组件用以带动支撑轴505在装载室4和气相沉积室1之间移动，支撑轴505和其前端的转架509由公转驱动器504带动实现同轴回转；所述转架509上设置有用以连接发动机叶片的回转夹具511，支撑轴505内设置有内驱动轴508并由自转驱动器503驱动，转架509内设置有若干传动轴510，所述回转夹具511与传动轴510转动配合，当自转驱动器503启动时，通过内驱动轴508和传动轴510带动回转夹具511自转。

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