成都中科唯实仪器有限责任公司陈鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉成都中科唯实仪器有限责任公司申请的专利一种插板阀的压力控制方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121028897B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511537731.4,技术领域涉及:G05D16/20;该发明授权一种插板阀的压力控制方法是由陈鹏;李杰;魏琼林;钟廷柯;王莲冀设计研发完成,并于2025-10-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种插板阀的压力控制方法在说明书摘要公布了:本发明涉及阀门控制技术领域,公开了一种插板阀的压力控制方法,包括打开插板阀阀门,将腔体的腔体压力预抽到分子泵的工作压力范围内,打开分子泵,待分子泵达到设定的稳定转速后且腔体压力稳定后进行下一步骤;关闭插板阀阀门,分子泵升高腔体压力到预设压力后,逐渐打开插板阀阀门,直到腔体压力不再升高,记录数据;建立开度与阀门流导模型;建立开度变化时与腔体压力以及腔体压力变化值的模型:基于插板阀阀门的当前开度、腔体压力以及调整后的腔体压力,反推得到阀门调整后的开度并控制阀门运行到该开度。本发明实时采集压力数据,能有效应对腔室气体泄漏与插板阀抽气的非线性特征,提高插板阀压力控制的精准性以及控制的响应速度。
本发明授权一种插板阀的压力控制方法在权利要求书中公布了:1.一种插板阀的压力控制方法,其特征在于:包括以下步骤: S1、打开插板阀阀门,将腔体的腔体压力预抽到分子泵的工作压力范围内,打开分子泵,待分子泵达到设定的稳定转速后且腔体压力稳定后进行下一步骤; S2、关闭插板阀阀门,分子泵升高腔体压力到预设压力后,逐渐打开插板阀阀门,直到腔体压力不再升高,记录此时插板阀阀门的开度Xmin以及对应的腔体压力Pmax; S3、将插板阀阀门从开度Xmin完全打开至Xmax并记录打开时间,将打开时间拆分为N个单位时间,并记录下每个单位时间内的插板阀阀门的开度X,记录N个开度X内的时实腔体压力P、阀门流导、分子泵的进气量Qin以及分子泵的有效抽气量Qout,N为正整数,且N≥5; S4、建立插板阀阀门开度X与阀门流导模型: ; 其中,为插板阀阀门全开Xmax时的最大流导,a为几何修正系数,b为非线性指数; S5、建立插板阀阀门开度X变化时与腔体压力以及腔体压力变化值的模型: ; 其中,V为腔体的体积,为玻尔兹曼常数,T为温度,为分子泵的进气量,为分子泵的有效抽气量;为腔体压力变化值,为开度x变化对应的单位时间; 分子泵的有效抽气速率满足; 分子泵的有效抽速与阀门流导的关系为: ; 其中为分子泵标称抽速,单位为Ls,由于在分子流状态下大于,,; 让则得到; 其中,r=Qin; S6、在调整插板阀阀门开度时,基于插板阀阀门的当前开度、腔体压力以及调整后的腔体压力,将其代入到步骤S5的模型中,反推计算得到阀门调整后的开度并控制阀门运行到计算得到的开度,完成压力控制。
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