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龙图腾网获悉光越科技(深圳)有限公司申请的专利表面轮廓检测方法和装置、电子设备及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120991763B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511509398.6，技术领域涉及：G01B11/30；该发明授权表面轮廓检测方法和装置、电子设备及存储介质是由杨志伟;龙跃金;张恩诚设计研发完成，并于2025-10-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本表面轮廓检测方法和装置、电子设备及存储介质在说明书摘要公布了：本申请实施例提供了一种表面轮廓检测方法和装置、电子设备及存储介质，属于精密测量技术领域。该方法应用于表面轮廓检测系统，该系统包括：光源模块；分束器，用于对光源模块发射的激光光束进行分束处理；光束补偿模块，用于对参考光束进行光束补偿，并投射至参考镜；光束偏转模块，用于对样品光束进行光束偏转，并投射至待测器件；光谱仪，用于对反射的样品光束和参考光束进行干涉信号生成。该方法包括：对干涉信号的多个波峰进行峰值检测，得到每个波峰的波长参数；对任意两个相邻波峰对应的波长参数进行间距检测，得到多个波长间距；对多个波长间距进行深度映射，得到待测器件的表面轮廓信息。本申请实施例能提高表面轮廓检测的效率和准确率。

本发明授权表面轮廓检测方法和装置、电子设备及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种表面轮廓检测方法，其特征在于，所述表面轮廓检测方法应用于表面轮廓检测系统，所述表面轮廓检测系统包括光源模块、分束器、光束补偿模块、光束偏转模块、光谱仪和参考镜；其中，所述光源模块用于发射激光光束；所述分束器与所述光源模块耦合连接，用于对所述激光光束进行分束处理，得到参考光束和样品光束；所述光束补偿模块与所述分束器耦合连接，用于对所述参考光束进行光束补偿，并用于将光束补偿的参考光束投射至所述参考镜；所述光束偏转模块与所述分束器耦合连接，用于对所述样品光束进行光束偏转，并用于将光束偏转的样品光束投射至待测器件；所述光谱仪与所述分束器耦合连接，用于接收所述参考镜反射回的参考光束和所述待测器件反射回的样品光束，并用于对所述反射回的参考光束和所述反射回的样品光束进行干涉信号生成； 所述表面轮廓检测方法包括： 获取所述光谱仪生成的干涉信号，所述干涉信号包括多个波峰； 对所述多个波峰进行峰值检测，得到每个所述波峰对应的波长参数； 针对每一所述波峰，将所述波峰对应的波长参数确定为第一波长参数，并将与所述波峰相邻的波峰对应的波长参数确定为第二波长参数； 将所述第二波长参数和所述第一波长参数的差值确定为所述波峰与所述波峰的相邻波峰之间的波长间距； 针对每一所述波长间距，获取用于确定所述波长间距的所述第一波长参数和所述第二波长参数，并将所述第一波长参数和所述第二波长参数的乘积确定为所述波长间距的波长特性值； 针对每一所述波长间距，根据所述波长特性值对所述波长间距进行参数调整，得到所述波长间距对应的光程差值； 对所述多个波长间距对应的光程差值进行深度映射，得到所述待测器件的表面轮廓信息。

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