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龙图腾网获悉河南微米光学科技有限公司申请的专利一种真空环境的联动调控方法、系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120871611B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511005099.9，技术领域涉及：G05B13/04；该发明授权一种真空环境的联动调控方法、系统是由甄西合;彭明林;周方;周松松;韩世昌;刘雪松设计研发完成，并于2025-07-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种真空环境的联动调控方法、系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种真空环境的联动调控方法、系统，属于真空环境调控技术领域，其具体包括：实时采集晶体生长环境时序数据，构建温度‑真空‑生长阶段三维映射关系，结合炉体材料热膨胀形变补偿算法动态修正真空阈值，生成多参数耦合真空调控模型；基于真空调控模型生成各生长阶段的动态真空阈值曲线，通过实时偏差计算输出协同控制信号；采用三级联动控制策略维持真空度稳定，并利用长短期记忆网络预测真空度变化趋势，提前激活备用真空单元；通过分布式光纤应变传感器检测密封面泄漏声波特征，定位失效点并驱动磁性补偿塞动态封堵，同时将泄漏信息反馈至真空调控模型，实现闭环优化；本发明提升了晶体生长过程的真空度控制精度与设备可靠性。

本发明授权一种真空环境的联动调控方法、系统在权利要求书中公布了：1.一种真空环境的联动调控方法，其特征在于，包括： S1：实时采集晶体生长环境时序数据，建立温度‑真空‑生长阶段三维映射关系，结合热膨胀形变补偿算法，根据炉体材料的热膨胀系数动态修正预设的真空阈值，生成多参数耦合的真空调控模型；所述晶体生长环境时序数据包括生长炉内温度梯度分布、气体组分浓度、真空度时序波动化数据； S2：基于所述真空调控模型，针对每个晶体生长阶段，生成动态真空阈值曲线，根据实时获取的当前真空环境参数与动态真空阈值曲线的偏差情况，计算并同步输出协同控制信号；所述协同控制信号包括真空泵组启停指令、微漏补偿指令、惰性气体注入指令； S3：根据所述协同控制信号，通过三级联动控制方式将炉内真空度波动范围控制在预设范围内，并利用长短期记忆网络预测真空度变化趋势，当预测偏差超过设定的真空度变化趋势阈值时，提前激活备用真空单元； S4：在S3的真空度调控过程中，通过炉体密封面布置的分布式光纤应变传感器采集密封面应变数据，使用泄漏声波指纹识别算法分析密封面应变数据中的声波特征并定位失效点，根据失效点的定位结果自动控制磁性补偿塞移动至失效点坐标实施动态封堵，同时，将泄漏检测与封堵信息反馈至真空调控模型。

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