湖南天羿领航科技有限公司朱科霖获国家专利权
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龙图腾网获悉湖南天羿领航科技有限公司申请的专利一种MEMS芯片散热器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120793833B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511184772.X，技术领域涉及：B81B7/00；该发明授权一种MEMS芯片散热器是由朱科霖设计研发完成，并于2025-08-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种MEMS芯片散热器在说明书摘要公布了：本发明公开了一种MEMS芯片散热器，包括驱动电源、框架和设于所述框架上的盖板，所述框架上设有摆片和进风口，所述摆片上设有第一导电层，所述盖板上设有出风口且内表面设有第二导电层，所述第二导电层与所述第一导电层对应布置，所述驱动电源连接所述第一导电层和所述第二导电层，并通过静电驱动方式驱动所述摆片振动在谐振状态。本发明将传统的散热风扇压缩到芯片级别，可以将其安装于紧凑型移动设备中，通过简单的静电驱动，使得摆片振动在谐振状态，摆片驱动摆片周围的空气流动，促进热交换，将被冷却的芯片上的多余热量带走，整体结构简单，体积小，运行时的噪音小，冷却效果好。
本发明授权一种MEMS芯片散热器在权利要求书中公布了：1.一种MEMS芯片散热器，其特征在于：包括驱动电源、框架2和设于所述框架2上的盖板1，所述框架2上设有摆片3和进风口25，所述摆片3上设有第一导电层31，所述盖板1上设有出风口15且内表面设有第二导电层12，所述第二导电层12与所述第一导电层31对应布置，所述驱动电源连接所述第一导电层31和所述第二导电层12，并通过静电驱动方式驱动所述摆片3振动在谐振状态；所述盖板1、所述框架2和所述摆片3均通过光刻湿法刻蚀、干法刻蚀或激光刻蚀的方式形成，所述第一导电层31和所述第二导电层12通过光刻金属化淀积的方式形成。
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