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龙图腾网获悉佛山市博顿光电科技有限公司;中山市博顿光电科技有限公司申请的专利一种智能宽光谱膜厚实时监控系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120778013B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511098763.9，技术领域涉及：G01B11/06；该发明授权一种智能宽光谱膜厚实时监控系统及方法是由冀鸣;刘伟基;裴宇辉;秦振江;王勃设计研发完成，并于2025-08-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种智能宽光谱膜厚实时监控系统及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种智能宽光谱膜厚实时监控系统及方法，涉及在线监测技术领域，所述系统包括：近似模型获取模块，同步设计参数并匹配获取近似薄膜模型集；模型更新模块，根据设计参数与材料本征参数更新模型参数，生成备选模型集；光谱采集模块，通过宽光谱光源采集反射光并转换为反射干涉谱；模型调整与输出模块，基于非线性最小二乘法迭代优化备选模型，输出残差最小的目标薄膜模型；监控结果提取模块，从目标模型中提取薄膜厚度作为膜厚监控结果。进而达成提高测厚适应性、提高测厚精度的技术效果。

本发明授权一种智能宽光谱膜厚实时监控系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种智能宽光谱膜厚实时监控系统，其特征在于，包括： 近似模型获取模块，用于同步目标薄膜设计参数，并根据所述目标薄膜设计参数匹配获取近似薄膜模型集； 模型更新模块，用于根据所述目标薄膜设计参数与目标薄膜材料本征参数，对多个近似薄膜模型的模型参数进行差异赋值更新，获取备选近似薄膜模型集； 光谱采集模块，用于激活宽光谱光源照射目标薄膜，采集反射光信号并转换为反射干涉谱； 模型调整与输出模块，用于基于非线性最小二乘法，以所述反射干涉谱为基准迭代调整所述备选近似薄膜模型集中多个备选近似薄膜模型，输出使模型反射谱与所述反射干涉谱的残差最小一者为目标薄膜模型； 监控结果提取模块，用于提取所述目标薄膜模型中的薄膜厚度作为膜厚监控结果； 基于非线性最小二乘法，以所述反射干涉谱为基准迭代调整所述备选近似薄膜模型集中多个备选近似薄膜模型，输出使模型反射谱与所述反射干涉谱的残差最小一者为目标薄膜模型，模型调整与输出模块的执行步骤包括： 以每一备选近似薄膜模型为初始化输入，模拟生成理论反射谱； 对所述理论反射谱与所述反射干涉谱进行频域对齐，构建残差函数，并基于非线性最小二乘算法对模型参数进行迭代优化，最小化所述残差函数；其中，模型参数包括薄膜厚度与光学参数组合； 遍历所述备选近似薄膜模型集，提取残差函数值最小所对应的备选近似薄膜模型为目标薄膜模型。

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