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龙图腾网获悉上海亚曼光电科技有限公司申请的专利一种单片式晶圆清洗机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120453201B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510665611.6，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权一种单片式晶圆清洗机是由林伟旺;李理;吕学飞;谭汉军;谢丁生;吴艳燕;赵振浩设计研发完成，并于2025-05-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种单片式晶圆清洗机在说明书摘要公布了：本发明提供一种单片式晶圆清洗机，涉及单片式晶圆清洗机技术领域，包括清洗机框、内腔室和喷淋机构，内腔室设置在清洗机框的内部，清洗机框的表面一侧设置有中央处理器，内腔室的内壁底端安装有辅助组件，辅助组件包括基座，基座的底端与内腔室的内壁底端固定连接，基座的内部安装有步进电机，步进电机的输出端固定连接有旋转框，旋转框的侧壁开设有渗流孔，基座的截面尺寸与内腔室的底端截面尺寸相适配。本发明，解决了在对晶圆进行加工的过程中，晶圆的表面将会附着较多的工业杂污，此时需要对晶圆的表面进行清洁，而通常的清洁装置中所设置的清洗头无法进行角度的调节，进而导致不方便全方面地对晶圆表面进行清洁的问题。

本发明授权一种单片式晶圆清洗机在权利要求书中公布了：1.一种单片式晶圆清洗机，包括清洗机框1、内腔室2和喷淋机构7，其特征在于： 所述内腔室2设置在清洗机框1的内部，所述清洗机框1的表面一侧设置有中央处理器3，所述内腔室2的内壁底端安装有辅助组件10，所述辅助组件10包括基座101，所述基座101的底端与内腔室2的内壁底端固定连接，所述基座101的内部安装有步进电机103，所述步进电机103的输出端固定连接有旋转框4，所述旋转框4的侧壁开设有渗流孔102，所述基座101的截面尺寸与内腔室2的底端截面尺寸相适配，所述基座101的一侧表面安装有转动架5，所述转动架5的一侧设置有安装板6，所述喷淋机构7设置在安装板6表面对应旋转框4的位置，所述喷淋机构7包括驱动杆704、伺服电机703、衔接管712和连接管711，所述驱动杆704的两端与安装板6的下表面转动连接，所述伺服电机703与安装板6的下表面固定连接，所述伺服电机703的输出端与驱动杆704的一端固定连接，所述驱动杆704的圆弧面两端螺纹连接有连接轴717，两个所述连接轴717的底端固定连接有同一个喷淋管701，所述喷淋管701的下表面固定连通有若干个喷头702，所述衔接管712的表面固定连接有固定框713，所述固定框713的一侧与安装板6的表面固定连接，所述内腔室2的侧壁固定连接有水箱709，所述水箱709的内部安装有高压泵710，所述高压泵710的输出端借助连接管711与衔接管712固定连通，所述连接管711为塑胶软管，所述安装板6的一侧固定连接有限位板706，所述限位板706的表面开设有限位槽707，所述限位槽707的截面呈圆弧状，所述喷淋管701的表面固定连接有限位杆705，所述限位杆705的一端截面呈“T”形，所述限位杆705的圆弧面与限位槽707的内壁活动连接，所述衔接管712的底端借助连接管711与喷淋管701的一侧转动连接，所述旋转框4的内壁设置有夹持机构9，所述夹持机构9包括定位框901、放置板918，所述定位框901的表面与旋转框4的表面固定连接，所述定位框901的上端内壁固定连接有支撑板902，所述放置板918的表面均匀开设有若干个挤压孔913，所述放置板918下表面对应挤压孔913的位置固定连接有导轨907，所述导轨907的内壁截面呈凹字形，所述导轨907的内壁滑动连接有导块916，所述导块916的截面尺寸与导轨907的内壁截面尺寸相适配，所述导块916的上端连接有连接柱914，所述连接柱914的圆弧面螺纹连接有挤压辊915，所述挤压辊915为海绵辊，所述导块916的下表面固定连接有齿条909，所述齿条909的上表面与导轨907的下表面滑动贯穿，所述导轨907的一侧固定连接有固定板910，所述固定板910的截面呈“L”形，所述固定板910的下表面与支撑板902的表面固定连接，所述定位框901的内壁固定连接有镶嵌板903，所述镶嵌板903的表面固定连接有驱动电机904，所述驱动电机904的输出端固定连接有调节杆917，所述调节杆917的上端与放置板918的下表面转动连接，所述调节杆917的底端圆弧面固定连接有支撑架905，所述支撑架905的上表面固定连接有齿环906，所述放置板918下表面对应齿条909与齿环906的位置转动连接有齿轮908，所述齿轮908的齿面与齿条909和齿环906的齿面相啮合，所述放置板918上表面对应调节杆917的位置固定连接有支撑垫919，所述支撑垫919为橡胶垫。

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