南京大学邹宁睦获国家专利权
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龙图腾网获悉南京大学申请的专利基于位置编码的晶圆图像质量评估方法、装置、设备及存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120088237B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510269402.X,技术领域涉及:G06T7/00;该发明授权基于位置编码的晶圆图像质量评估方法、装置、设备及存储介质是由邹宁睦;王艺儒;雷天悟;曾梓康;陈文军;张雅丽;曹书嵘设计研发完成,并于2025-03-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于位置编码的晶圆图像质量评估方法、装置、设备及存储介质在说明书摘要公布了:本发明公开基于位置编码的晶圆图像质量评估方法,包括基于目标晶圆图像确定多个切分目标图像块对应的多个切分嵌入向量和多个滑窗目标图像块对应的多个滑窗嵌入向量;为每个切分嵌入向量添加位置编码,以形成初始序列;在初始序列的起始位置,添加数据捕捉标记,以对目标晶圆图像进行全局信息捕捉,得到目标晶圆图像的全局特征;基于每个滑窗嵌入向量,确定多个滑窗局部特征;基于全局特征和多个滑窗局部特征,确定目标晶圆图像的全局拼接特征;基于质量评估模型输出目标晶圆图像的质量预测指标;基于质量预测指标以及质量参数指标,确定目标晶圆图像的质量评估结果。本案融合了图像的局部特征和全局特征,提高了图像质量评估的全面性和准确性。
本发明授权基于位置编码的晶圆图像质量评估方法、装置、设备及存储介质在权利要求书中公布了:1.一种基于位置编码的晶圆图像质量评估方法,其特征在于,所述方法包括: 获取目标晶圆图像; 基于所述目标晶圆图像确定多个切分目标图像块以及多个滑窗目标图像块; 基于多个所述切分目标图像块,确定多个切分嵌入向量; 基于多个所述滑窗目标图像块,确定多个滑窗嵌入向量; 为每个所述切分嵌入向量添加位置编码,以形成初始序列; 在所述初始序列的起始位置,添加数据捕捉标记,以按照所述初始序列对所述目标晶圆图像进行全局信息捕捉,得到所述目标晶圆图像的全局特征,所述全局特征包括每个所述切分目标图像块的图像切分特征和每个所述切分目标图像在所述目标晶圆图像中的位置信息; 基于每个所述滑窗嵌入向量,确定多个滑窗局部特征,每个所述滑窗目标图像块对应一个滑窗局部特征; 基于所述全局特征和多个所述滑窗局部特征,确定所述目标晶圆图像的全局拼接特征; 将所述全局拼接特征输入质量评估模型中,以基于所述质量评估模型解析所述全局拼接特征后,输出所述目标晶圆图像的质量预测指标; 获取质量参数指标; 基于所述质量预测指标以及所述质量参数指标,确定所述目标晶圆图像的质量评估结果。
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