合肥维信诺科技有限公司李志获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥维信诺科技有限公司申请的专利化学气相沉积装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119876914B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510091521.0，技术领域涉及：C23C16/458；该发明授权化学气相沉积装置是由李志;李慧;王盼盼设计研发完成，并于2025-01-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本化学气相沉积装置在说明书摘要公布了：本申请提供了一种化学气相沉积装置，用于在基板上沉积薄膜，化学气相沉积装置包括固定座、分布于固定座的多个支撑块以及驱动机构，支撑块具有支撑面，驱动机构用于驱动各支撑块分别运动，以分别调节各支撑块的参数，以令各支撑面组合形成支撑形状，各支撑面用于共同支撑基板。本申请的化学气相沉积装置，可以在沉积过程中，根据基板的实际沉积膜厚通过驱动机构对各支撑块的支撑形状进行调整，以提高基板各处沉积厚度均匀一致性。
本发明授权化学气相沉积装置在权利要求书中公布了：1.化学气相沉积装置，用于在基板上沉积薄膜，其特征在于，所述化学气相沉积装置包括固定座、分布于所述固定座的多个支撑块以及驱动机构，所述支撑块具有支撑面，所述驱动机构用于驱动各所述支撑块分别运动，以分别调节各所述支撑块的参数，以令各所述支撑面组合形成支撑形状，各所述支撑面用于共同支撑所述基板； 所述化学气相沉积装置还包括掩膜板、距离传感器、主机及厚度检测结构，所述掩膜板与基板间隔设置，所述距离传感器用于检测所述掩膜板与所述基板之间的距离信息并反馈至所述主机，所述厚度检测结构用于检测所述基板上薄膜厚度并将厚度信息反馈至所述主机，所述主机根据所述距离信息以及所述厚度信息控制所述驱动机构以驱动各所述支撑块分别运动。
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