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龙图腾网获悉东莞市晟鼎精密仪器有限公司申请的专利一种晶圆高温退火设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119864296B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411890939.X，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权一种晶圆高温退火设备是由冼健威;侯振健;莫国健设计研发完成，并于2024-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆高温退火设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆高温退火设备，其包括，机体，机体内腔排布设置有；炉体，炉体设于机体中部，用于对晶圆进行热加工；送料机构，送料机构对应炉体的进料端，送料机构运行，输送晶圆至炉体内进行加工；注气机构，注气机构的注气管与炉体连通，注气机构启动，注入工艺气体或冷媒气体至炉体内。通过电源对炉体独立供电，使炉体内腔温度可升高至2000°，以提供更好的晶圆热处理加工环境。水冷机构设置于炉体周边，用于降低炉体工作时产生高温对于周边零部件的影响，且晶圆加工完成时，还可通过注气机构注入冷却气氛至炉体内和通过水冷机构的水循环来对炉体进行快速降温，以此达到快速升温和快速降温的效果。

本发明授权一种晶圆高温退火设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆高温退火设备，包括机体10，其特征在于：所述机体10内腔排布设置有； 炉体21，所述炉体21设于机体10中部，用于对晶圆进行热加工； 送料机构30，所述送料机构30对应所述炉体21的进料端，所述送料机构30运行，输送晶圆至所述炉体21内进行加工； 注气机构40，所述注气机构40的注气管与所述炉体21连通，所述注气机构40启动，注入工艺气体或冷媒气体至所述炉体21内； 水冷机构50，所述水冷机构50中的输水管51和回水管52与炉体21的夹层53连通，所述水冷机构50启动对所述炉体21进行降温； 隔热组件80，所述隔热组件80设于所述送料机构30以及炉体21内；所述炉体21内设有内胆22、以及一端部连接内胆22的加热件23和温度检测件24，送料机构30的送料端与内胆22进料端对应；所述水冷机构50包括插接在夹层53内的降温圈组54，所述降温圈组54两面分别设有相错开的第一螺旋槽55以及第二螺旋槽56，所述输水管51与所述第一螺旋槽55进水段连通，所述回水管52与所述第二螺旋槽56出水端连通；降温圈组54一侧设有凹槽57，所述凹槽57内插接有凸条58，所述凸条58上设有与所述第一螺旋槽55相连通的第一连通槽581，以及与第二螺旋槽56相连通的第二连通槽582，所述凸条58中部还设有导流通道59，所述导流通道59的两端分别与第一连通槽581的出水端以及第二螺旋槽56的进水端连通。

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