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龙图腾网获悉湖北江城实验室申请的专利晶圆测量装置、方法和晶圆键合设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119764216B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411890812.8，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权晶圆测量装置、方法和晶圆键合设备是由邵任之设计研发完成，并于2024-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆测量装置、方法和晶圆键合设备在说明书摘要公布了：本申请涉及集成电路领域，公开了一种晶圆测量装置、方法和晶圆键合设备。晶圆测量装置包括：气压式测量模块和数据处理模块。气压式测量模块包括：测量气路、参考气路、参考平面和差分压力计。测量气路上设置有测量节流阀，测量气路的末端设置有测量喷嘴。参考气路上设置有参考节流阀，参考气路的末端设置有参考喷嘴。测量气路的始端和参考气路的始端，均连接至气源。差分压力计的第一端，连接至测量节流阀和测量喷嘴之间的测量气路前段；差分压力计的第二端，连接至参考节流阀和参考喷嘴之间的参考气路前段。

本发明授权晶圆测量装置、方法和晶圆键合设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆测量装置，应用于晶圆键合设备，其特征在于，所述晶圆测量装置包括：气压式测量模块、数据处理模块和机械轴；所述气压式测量模块包括：测量气路、参考气路、参考平面和差分压力计； 所述测量气路的数量为两条，所述测量气路上均设置有测量节流阀，所述测量气路的末端均设置有测量喷嘴；所述参考气路上设置有参考节流阀，所述参考气路的末端设置有参考喷嘴；所述测量气路的始端和所述参考气路的始端，均连接至气源；所述测量喷嘴、所述参考喷嘴和所述参考平面，均设置于所述机械轴的端部；两条所述测量气路的所述测量喷嘴，相背设置于所述机械轴的端部，且分别朝向两片待键合晶圆； 所述差分压力计的第一端分支出两个子端，且分支位置设置有切换阀；所述差分压力计的两个所述子端，分别连接至两条所述测量气路的所述测量气路前段；所述差分压力计的第二端，连接至所述参考节流阀和所述参考喷嘴之间的参考气路前段； 所述测量喷嘴，用于向所述待键合晶圆的表面喷出气体； 所述参考喷嘴，用于向所述参考平面喷出气体； 所述差分压力计，用于在所述测量喷嘴和所述参考喷嘴喷出气体的情况下，对两条所述测量气路前段和所述参考气路前段的压力差值进行测量； 所述数据处理模块，用于基于所述压力差值，确定两片所述待键合晶圆之间的相对平行度。

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