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龙图腾网获悉哈尔滨工业大学申请的专利一种晶圆键合设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119742250B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411949281.5，技术领域涉及：H10P10/00；该发明授权一种晶圆键合设备是由吴剑威;刘江;宋赫男;刘欢;张思哲;帅聪;谭久彬设计研发完成，并于2024-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆键合设备在说明书摘要公布了：本发明提供了一种晶圆键合设备，涉及集成电路封装的技术领域，晶圆键合设备包括上晶圆吸附台，所述上晶圆吸附台包括位于底部的吸附盘，所述吸附盘上设有多个能够独立工作的吸附单元和多个能够独立工作的加热单元，所述吸附单元和所述加热单元分别呈环状分布，多个所述吸附单元和所述加热单元由所述上晶圆吸附台中心向外周交替间隔排列。本发明能够改善晶圆在键合过程中出现应力集中，进而出现剥离的现象。

本发明授权一种晶圆键合设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆键合设备，其特征在于，包括上晶圆吸附台1，所述上晶圆吸附台1包括位于底部的吸附盘11，所述吸附盘11上设有多个能够独立工作的吸附单元12和多个能够独立工作的加热单元13，所述吸附单元12和所述加热单元13分别呈环状分布，多个所述吸附单元12和所述加热单元13由所述上晶圆吸附台1中心向外周交替间隔排列； 所述晶圆键合设备还包括环形气泵2、加热电源3、多个电流开关4和控制系统10；所述环形气泵2绕设于所述上晶圆吸附台1外周，每个所述吸附单元12与所述环形气泵2连通；所述上晶圆吸附台1内开设有多个第一气道14，多个所述第一气道14与多个吸附单元12一一对应设置，每个所述吸附单元12通过所述第一气道14与所述环形气泵2连通；每个所述第一气道14处设有气道控制阀16，所述气道控制阀16用于控制对应的所述第一气道14的开闭； 多个所述电流开关4与多个所述加热单元13一一对应设置，所述加热电源3与每个所述加热单元13电连接，每个所述电流开关4用于控制所述加热电源3与对应的所述加热单元13之间的电流通断； 所述控制系统10与所述气道控制阀16、所述电流开关4分别电连接；所述控制系统10用于控制多个所述气道控制阀16和所述电流开关4的开闭，以使在键合过程中多个所述吸附单元12和所述加热单元13由所述上晶圆吸附台1中心向外周依次关闭。

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