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龙图腾网获悉西安交通大学申请的专利一种点衍射共光路干涉晶圆图案缺陷检测装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119688731B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411860072.3，技术领域涉及：G01N21/956；该发明授权一种点衍射共光路干涉晶圆图案缺陷检测装置及方法是由杨树明;张国锋;夏承晟;战博宇设计研发完成，并于2024-12-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种点衍射共光路干涉晶圆图案缺陷检测装置及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种点衍射共光路干涉晶圆图案缺陷检测装置及方法，包括光源入射光路、信号收集光路、信号滤波干涉光路、晶圆位移系统和制冷CCD相机，通过将待检测晶圆进行X向精密移动，获得在每一个位置的干涉图像；将每张干涉图像进行相位重建，得到与待检测晶圆表面形貌相关的相位图像；对多幅连续相位图像进行移动平均处理和二阶差分处理，拼接为大范围图像，将处理后的图像与参考标准图像进行差分，得到图像异常区域；将确定异常区域的图像与实际晶圆尺寸进行对照映射，获得晶圆图案精确的缺陷区域范围。本发明使用光学信号的相位信息进行晶圆图案缺陷检测，提高检测分辨率和信噪比和更小的检测尺度。

本发明授权一种点衍射共光路干涉晶圆图案缺陷检测装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种点衍射共光路干涉晶圆图案缺陷检测方法，其特征在于，所述方法采用的装置，包括： 光源入射光路110，用于将光源111进行整形并入射到晶圆检测区域； 信号收集光路120，用于收集待检测晶圆表面反射光信号； 信号滤波干涉光路130，用于将待检测晶圆反射光信号进行衍射分光并通过4f系统进行滤波； 晶圆位移系统140，用于对待检测晶圆进行水平方向和竖直方向的扫描； 制冷CCD相机151，用于将光源入射光路110参考光和晶圆反射的物光两束分光干涉成像于CCD相机靶面上； 光源入射光路110包括聚焦透镜112、中间透镜113和场镜114，光源111为非短波长激光光源或宽光谱白光光源，经聚焦透镜112、中间透镜113和场镜114进入信号收集光路120； 所述点衍射共光路干涉晶圆图案缺陷检测方法，包括： 准备一待检测晶圆，该晶圆上具有周期性重复结构以及异常缺陷结构图案；通过将待检测晶圆进行X向精密移动，获得在每一个位置的干涉图像； 将每张干涉图像进行相位重建，得到与待检测晶圆表面形貌相关的相位图像； 对多幅连续相位图像进行二阶差分处理和移动平均处理，拼接为大范围图像，去除系统时变噪声，获得处理后的图像； 将处理后的图像与参考标准图像进行差分，得到图像异常区域； 将确定异常区域的图像与实际晶圆尺寸进行对照映射，获得晶圆图案精确的缺陷区域范围； 对多幅连续相位图像进行二阶差分处理和移动平均处理，包括： 对每相邻三张相位图像进行一次二阶差分处理，得到一张消除时不变噪声二阶差分图像； 对全部二阶差分图像使用移动平均处理，得到一张消除时变噪声全景拼接图像。

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