芯恩(青岛)集成电路有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利等离子刻蚀腔的加工时间预测方法、系统及维护方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119361407B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311373716.1，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权等离子刻蚀腔的加工时间预测方法、系统及维护方法是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2023-10-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本等离子刻蚀腔的加工时间预测方法、系统及维护方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种等离子刻蚀腔的加工时间预测方法、系统及维护方法，该加工时间预测方法通过实验获取新制程下与边缘环材质相同或相近的测试控片边缘的至少一个位置的消耗速率，作为新制程下边缘环的对应位置的消耗速率，由此可以根据现有制程下的等离子刻蚀腔的加工时间MTBC和边缘环的对应位置的消耗速率以及新制程下边缘环的对应位置的消耗速率，预估出新制程下的等离子刻蚀腔的加工时间，可以以较低的成本且相对及时准确地评估出新制程下等离子刻蚀腔的加工时间，从而避免新制程导入所带来的风险。
本发明授权等离子刻蚀腔的加工时间预测方法、系统及维护方法在权利要求书中公布了：1.一种等离子刻蚀腔的加工时间预测方法，其特征在于，包括： 实验步骤：在导入新制程用于产品生产之前，将测试控片加载到具有边缘环的等离子刻蚀腔中，并采用所述新制程对所述测试控片进行等离子刻蚀，且在所述等离子刻蚀中，所述测试控片和所述边缘环同步被消耗，其中，所述测试控片的材质与所述边缘环相同，或者所述测试控片的材质与所述边缘环不同，但能保证所述测试控片边缘上的各个位置在所述等离子刻蚀中100%模拟所述边缘环对应位置的消耗速率； 关键数据获取步骤：获取所述测试控片的至少一个位置的消耗速率，并获取现有制程下等离子刻蚀腔的加工时间和边缘环对应位置的消耗速率； 预估步骤：基于所述测试控片的至少一个位置的消耗速率、所述现有制程下等离子刻蚀腔的加工时间和边缘环对应位置的消耗速率，预估出所述新制程下的等离子刻蚀腔的加工时间。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯恩(青岛)集成电路有限公司，其通讯地址为：266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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