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龙图腾网获悉重庆中科摇橹船信息科技有限公司申请的专利一种适用于晶圆外观检测校准机构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119310102B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411485502.8，技术领域涉及：G01N21/95；该发明授权一种适用于晶圆外观检测校准机构是由郑道勤;王侃设计研发完成，并于2024-10-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种适用于晶圆外观检测校准机构在说明书摘要公布了：本发明涉及晶圆外观检测技术领域，尤其是指一种适用于晶圆外观检测校准机构，包括支撑架，所述支撑架的顶部固定安装有桌面，所述桌面的顶部活动安装有第一安装块，所述第一安装块的顶部滑动安装有第二安装块，所述第二安装块的顶部安装有夹持组件，所述夹持组件的内部夹持安装有晶圆本体，所述第二安装块与晶圆本体之间安装有旋转组件，所述桌面的顶部远离第一安装块的一侧安装有红外线射灯。本发明，通过设置夹持组件稳定夹持晶圆，便于检测时进行旋转、平移和翻转的功能；通过设置检测功能以判断晶圆是否正常；设置辅助检测组件可在晶圆外观有问题时准确检测问题位置，极大地提高了晶圆外观检测的效率、准确性和全面性。

本发明授权一种适用于晶圆外观检测校准机构在权利要求书中公布了：1.一种适用于晶圆外观检测校准机构，包括支撑架1，其特征在于：所述支撑架1的顶部固定安装有桌面2，所述桌面2的顶部活动安装有第一安装块3，所述第一安装块3的顶部滑动安装有第二安装块4，所述第二安装块4的顶部安装有夹持组件5，所述夹持组件5的内部夹持安装有晶圆本体6，所述第二安装块4与晶圆本体6之间安装有旋转组件7，所述桌面2的顶部远离第一安装块3的一侧安装有红外线射灯8，所述红外线射灯8的照射方向朝向晶圆本体6，所述桌面2的顶部靠近红外线射灯8的一侧安装有红外线接收器9，所述红外线射灯8与红外线接收器9的角度均倾斜，所述桌面2的顶部安装有辅助检测组件10，所述辅助检测组件10位于晶圆本体6和红外线射灯8之间； 所述夹持组件5包括双向丝杆501、第二滑块503、第二支撑杆504、环形夹持块505和滚轮506，所述双向丝杆501活动安装在第二安装块4的内部，所述第二滑块503有两个滑动安装在第二安装块4的内部，所述第二滑块503的内部开设有与双向丝杆501对应的螺孔，所述第二支撑杆504固定连接在第二滑块503的顶部，所述环形夹持块505固定连接在第二支撑杆504的顶部，所述滚轮506有多个活动安装在环形夹持块505的内部，所述滚轮506位于晶圆本体6的两侧； 所述第一安装块3的底部固定连接有旋转轴309，所述桌面2的顶部开设有旋转孔310，所述旋转轴309活动安装在旋转孔310的内部，所述第一安装块3的外壁固定连接有第一活动耳板304，所述第一活动耳板304的内部滑动安装有限位销305，所述限位销305的顶部固定连接有拉环306，所述拉环306与第一活动耳板304之间固定安装有弹簧307，所述弹簧307套设在限位销305上，所述桌面2的内部开设有限位槽308，所述限位槽308的数量有两个，所述限位槽308可与限位销305相互对应； 所述辅助检测组件10包括外齿轮环1001、亚克力板1002、连接块1003和检测摄像机1004，所述外齿轮环1001活动位于桌面2的顶部，所述亚克力板1002固定连接在外齿轮环1001的外壁前端，所述连接块1003固定连接在外齿轮环1001的外壁前端远离亚克力板1002的一侧，所述检测摄像机1004固定安装在连接块1003的外壁，所述检测摄像机1004的摄像头朝向亚克力板1002的方向； 所述外齿轮环1001的外壁啮合有支撑齿轮1005，所述支撑齿轮1005的数量有三个，所述桌面2的顶部固定连接有支撑块1006，所述支撑块1006的数量有两个，顶部两个所述支撑齿轮1005均安装在支撑块1006的内部，所述桌面2的顶部固定连接有第二活动耳板1009，底部的所述支撑齿轮1005活动安装在第二活动耳板1009上，所述桌面2的顶部固定连接有第二保护罩1007，所述第二保护罩1007的内部固定安装有第三驱动电机1008，所述底部的所述支撑齿轮1005固定安装在第三驱动电机1008的输出端。

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