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龙图腾网获悉季华实验室申请的专利一种动态倾斜补偿的双轴气浮平台、控制方法及曝光机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119148479B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411522424.4，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种动态倾斜补偿的双轴气浮平台、控制方法及曝光机是由蔡后勇;崔长植设计研发完成，并于2024-10-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种动态倾斜补偿的双轴气浮平台、控制方法及曝光机在说明书摘要公布了：本发明涉及气浮结构制造技术领域，特别涉及一种动态倾斜补偿的双轴气浮平台，包括用于放置定位玻璃基板的基板平台，设置于基板平台底端的微动装置，以及用于调节气浮机构平整度的X轴动态补偿调节装置和Y轴动态补偿调节装置，Y轴动态补偿调节装置分别与微动装置和X轴动态补偿调节装置的接触面之间密布有多个气浮垫，多个气浮垫通过固定螺钉相互拼接形成气浮导轨；每个气浮垫的顶端开设有均压槽，均压槽内设有用于检测气膜压力变化的气压传感器，气压传感器等距分布于气浮垫的四个边角和中心处。本发明的双轴气浮平台能够自动进行动态倾斜补偿、降低气浮平台的俯仰倾斜和横滚倾斜，提高气浮平台的运动精度，从而提高曝光机的加工精度。

本发明授权一种动态倾斜补偿的双轴气浮平台、控制方法及曝光机在权利要求书中公布了：1.一种动态倾斜补偿的双轴气浮平台，包括用于放置定位玻璃基板的基板平台，设置于基板平台底端的微动装置，以及用于调节微动装置平整度的X轴动态补偿调节装置和Y轴动态补偿调节装置，其特征在于，所述Y轴动态补偿调节装置分别与微动装置和X轴动态补偿调节装置的接触面之间密布有多个气浮垫，多个所述气浮垫通过固定螺钉相互拼接形成气浮导轨；相邻两行气浮垫之间还拼接有预加载磁钢，预加载磁钢能够在气膜发生俯仰倾斜或横滚倾斜时瞬速调整气浮垫内的压力分布； 每个所述气浮垫的顶端开设有均压槽，且气浮垫内设有用于检测气膜压力变化的气压传感器，所述气压传感器等距分布于气浮垫的四个边角和中心处；所述气浮垫的一端还设置供气管接头，所述供气管接头通过气管连通气源形成供气管路；所述气压传感器检测出每个气浮垫的压力分布，并根据压力分布得到气膜厚度，通过调节相应气浮垫的供气压力动态调整相应气浮垫的气膜厚度，以使得气膜的俯仰倾斜和横滚倾斜降低； 所述微动装置包括重力补偿器、微动基台、气浮垫安装件以及驱动连接件，所述重力补偿器设置有多个，多个所述重力补偿器的一端与基板平台固定连接，另一端与微动基台相连接；所述气浮垫安装件对称设置于微动基台与X轴动态补偿调节装置之间，且气浮垫安装件上开设有多个穿孔；所述驱动连接件设置于气浮垫安装件的两侧，且驱动连接件的一端与Y轴动态补偿调节装置电磁连接； 所述气浮垫包括承重气浮垫和导向气浮垫，所述承重气浮垫平铺设置于X向承重导轨和Y向承重导轨上；所述导向气浮垫分布于X向导向导轨和Y向导向导轨的两侧壁上； 当X向直线电机加速或减速时，考虑到气体输送需要一定时间，通过预先设定的时间提前调整承重气浮垫的供气压力，通过承重气浮垫内的气压传感器获取实时压力数据，动态计算并调整各承重气浮垫的供气量，以补偿因X向直线电机加速或减速导致的俯仰倾斜； 当Y向直线电机运动至其行程范围的两端时，通过检测各承重气浮垫和导向气浮垫的压力分布，实时计算出气膜厚度变化，自动增加气膜较薄一侧导向气浮垫的供气压力，缩小两侧气膜厚度差距。

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