株式会社斯库林集团安陪裕滋获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利基板处理装置、基板处理系统及支撑销的配置更换方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118676049B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311579580.X，技术领域涉及：H10P72/76；该发明授权基板处理装置、基板处理系统及支撑销的配置更换方法是由安陪裕滋;高村幸宏设计研发完成，并于2023-11-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置、基板处理系统及支撑销的配置更换方法在说明书摘要公布了：在本发明的基板处理装置、基板处理系统及它们的支撑销的配置更换方法中，多个支撑销装卸自如地安装于第一板的上表面，并且第一板通过磁力而能够装卸地与设置于腔室内部空间内的第二板结合。通过将第一板向上方提起而将与第二板的结合解除，将第一板从腔室搬出至外部，在腔室外变更安装于第一板的支撑销的配置，将第一板放回至腔室内并与第二板结合，由此实现支撑销的配置更换。能够以优异的作业性进行支撑销的配置更换。
本发明授权基板处理装置、基板处理系统及支撑销的配置更换方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，包括： 腔室，具有能够收容基板的内部空间，且所述内部空间被减压； 第一板，配置于所述内部空间内，用于对所述基板进行支撑的多个支撑销装卸自如地安装于上表面； 第二板，在所述内部空间内与所述第一板的下表面抵接而对所述第一板进行支撑；以及结合部，通过离散地配置的多个磁铁的磁力而能够装卸地将所述第一板与所述第二板结合，所述多个磁铁离散地突出设置于所述第二板的上表面，在所述第一板的下表面中与所述磁铁的位置对应的位置设置有供所述磁铁嵌合的凹部，所述凹部的内表面的至少一部分由软磁性体形成，所述多个磁铁突出嵌入至多个所述凹部，并且通过磁力吸附而将所述第一板与所述第二板结合。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人株式会社斯库林集团，其通讯地址为：日本京都府京都市上京区堀川通寺之内上4丁目天神北町1番地之1；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励