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龙图腾网获悉湖北通格微电路科技有限公司申请的专利用于深孔工件的镀膜设备及镀膜工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118048617B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410253585.1，技术领域涉及：C23C14/50；该发明授权用于深孔工件的镀膜设备及镀膜工艺是由易伟华;张迅;刘松林;周新宇设计研发完成，并于2024-03-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于深孔工件的镀膜设备及镀膜工艺在说明书摘要公布了：本申请涉及一种用于深孔工件的镀膜设备，用以向开设有第一通孔的待镀膜工件镀膜，包括真空腔体及依次设于真空腔体内的磁控阴极靶、离子加速汇聚器及工件转架，磁控阴极靶与高功率脉冲电源相连，用于生成第一金属阳离子；工件转架可绕自身轴线旋转，用于固定待镀膜工件；离子加速汇聚器用于生成第二金属阳离子并加速第二金属阳离子和第一金属阳离子后形成沿第一通孔的延伸方向喷射的离子束。第二金属阳离子提高金属阳离子整体浓度、且以离子束轰击第一通孔，增加第一通孔附近的金属阳离子通量，均提高第一通孔内膜层的覆盖率；加速过程提高金属阳离子的能量，从而提高膜层结合力，也使金属阳离子能深入第一通孔内，增加膜层均匀性。

本发明授权用于深孔工件的镀膜设备及镀膜工艺在权利要求书中公布了：1.一种用于深孔工件的镀膜设备，用以向开设有第一通孔的待镀膜工件镀膜，其特征在于，包括真空腔体及依次设置于所述真空腔体内的磁控阴极靶、离子加速汇聚器及工件转架，其中： 所述磁控阴极靶与高功率脉冲电源相连接，用于生成第一金属阳离子； 所述工件转架可绕自身轴线旋转，用于固定待镀膜工件； 所述离子加速汇聚器用于生成第二金属阳离子并加速所述第二金属阳离子和所述第一金属阳离子后形成沿所述第一通孔的延伸方向喷射的离子束； 所述离子加速汇聚器包括绝缘套筒、金属加速电极及脉冲电源，其中： 所述绝缘套筒安装于所述真空腔体内，所述绝缘套筒位于所述磁控阴极靶和所述工件转架之间； 所述金属加速电极设置于所述绝缘套筒靠近所述磁控阴极靶的一侧，且与所述脉冲电源相连接，所述金属加速电极用于吸引所述第一金属阳离子朝自身加速并与自身碰撞后产生所述第二金属阳离子，所述金属加速电极的材质与所述磁控阴极靶相同； 所述离子加速汇聚器还包括加速线圈及第一可调电源，所述加速线圈设置于所述绝缘套筒内并与所述第一可调电源相连接，所述加速线圈用于加速从所述金属加速电极输入的所述第一金属阳离子和所述第二金属阳离子； 所述离子加速汇聚器还包括极靴汇聚线圈及第二可调电源，所述极靴汇聚线圈设置于所述绝缘套筒内，所述极靴汇聚线圈位于所述加速线圈背离所述金属加速电极的一侧，所述极靴汇聚线圈用于产生磁场以汇聚从所述加速线圈输入的所述第一金属阳离子和所述第二金属阳离子。

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