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深圳烯钻科技有限公司潘登获国家专利权

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龙图腾网获悉深圳烯钻科技有限公司申请的专利一种CMP金刚石修整盘及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117444855B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311690533.2,技术领域涉及:B24B53/017;该发明授权一种CMP金刚石修整盘及其制备方法是由潘登;张云宝;黄斯逸;邓佳设计研发完成,并于2023-12-11向国家知识产权局提交的专利申请。

一种CMP金刚石修整盘及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开一种CMP金刚石修整盘及其制备方法,其中,金刚石修整盘包括:修整盘基体、磨粒、第一镀层、第二镀层和第三镀层,修整盘基体上表面的心部设有留白区域,留白区域的外周侧设有与修整盘基体具有同一圆心的多个扇形区域,多个扇形区域沿修整盘基体圆周方向呈等距均匀分布,扇形区域的一侧边呈锯齿状,每两个扇形区域之间形成有沟槽区域,多个沟槽区域与留白区域连通,磨粒铺设在扇形区域上。本发明通过高温钎焊、电镀处理以及气相沉积处理,提高了表面能,通过控制高温钎焊温度和时间,使热损伤较低,且固定方式多样化,磨粒排列有序,有利于实现高精度的加工要求,提高生产效率和质量。

本发明授权一种CMP金刚石修整盘及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种CMP金刚石修整盘,其特征在于,包括: 修整盘基体10,所述修整盘基体10上表面的心部设有留白区域14,所述留白区域14的外周侧设有与所述修整盘基体10具有同一圆心的多个扇形区域15,多个所述扇形区域15沿所述修整盘基体10圆周方向呈等距均匀分布,所述扇形区域15的一侧边呈锯齿状,每两个所述扇形区域15之间形成有沟槽区域16,多个所述沟槽区域16与所述留白区域14连通; 磨粒11,所述磨粒11铺设在所述扇形区域15上; 第一镀层12,所述第一镀层12部分包镶所述磨粒11,并将所述磨粒11固定在所述修整盘基体10上,所述第一镀层12包镶所述磨粒11的高度介于所述磨粒11粒径的13~12倍之间; 第二镀层13,所述第二镀层13覆盖于所述第一镀层12上,且部分包镶所述磨粒11,所述磨粒11露出所述第二镀层13的高度介于所述磨粒11粒径的14~13倍之间; 第三镀层,所述第三镀层覆盖在所述第二镀层13之上,所述第三镀层的厚度介于4~6μm之间。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人深圳烯钻科技有限公司,其通讯地址为:518000 广东省深圳市前海深港合作区南山街道前海深港合作区前湾一路63号万科前海企业公馆21栋B单元2层;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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