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龙图腾网获悉杭州大和江东新材料科技有限公司申请的专利一种半导体快速退火炉用超薄热压碳化硅环加工方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117444744B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311168019.2，技术领域涉及：B24B9/02；该发明授权一种半导体快速退火炉用超薄热压碳化硅环加工方法是由姚相民;倪晓锋;马玉琦设计研发完成，并于2023-09-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体快速退火炉用超薄热压碳化硅环加工方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种半导体快速退火炉用超薄热压碳化硅环加工方法，旨在解决热压碳化硅环加工过程中存在产品断裂风险的不足。该发明热压碳化硅环加工过程中，通过治具上的安装槽对热压碳化硅环毛坯进行定位，定位可靠，有效的防止产品偏移发生，且固体棒蜡能够填补热压碳化硅环毛坯外壁和安装槽侧壁之间的装夹间隙，在后续的产品脱蜡过程中也能更好的取下，不残留，避免拿取断裂发生。采用650℃烧结曲线既能够去除有机物，又能防止产品发生氧化现象，避免手工擦拭导致的超薄内段差断裂，达到无接触表面洁净。热压碳化硅环毛坯竖向入水，避免因为产品横向入水，受到水的阻力而造成的产品裂纹、断裂产生。

本发明授权一种半导体快速退火炉用超薄热压碳化硅环加工方法在权利要求书中公布了：1.一种半导体快速退火炉用超薄热压碳化硅环加工方法， 其特征是，包括以下步骤： S1，将热压碳化硅环毛坯装载到治具上，治具上设有安装槽，热压碳化硅环毛坯适配安装在安装槽中； S2，使用立式磨床去除热压碳化硅环毛坯一侧面的内段差余量使热压碳化硅环毛坯上形成环形缺槽，立式磨床的磨头移动路径由上往下向内倾斜； S3，取下热压碳化硅环毛坯，并在安装槽内装载支撑环，热压碳化硅环毛坯翻转后继续安装到安装槽中，此时环形缺槽适配支撑在支撑环上； S4，使用立式车床径向走刀加工热压碳化硅环毛坯另一侧面的内段差余量，从而在热压碳化硅环毛坯内侧形成超薄的内段差； S5，取下热压碳化硅环毛坯，并拆卸支撑环，将热压碳化硅环毛坯翻转后安装到安装槽中； S6，使用切槽刀具在热压碳化硅环毛坯表面上加工环槽，切槽刀具上均布设置若干凸出的磨削刀刃，磨削刀刃与环槽适配； S7，将热压碳化硅环毛坯放置到烧结炉内进行650℃烧结； S8，将冷却后的热压碳化硅环毛坯装载到洗净治具上并放入氧化洗净槽内洗净，热压碳化硅环毛坯竖向入水； S9，取出后完成热压碳化硅环的加工； 在S1、S3、S5中热压碳化硅环毛坯外壁和安装槽侧壁之间使用固体棒蜡粘结。

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