中山大学陈弟虎获国家专利权
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龙图腾网获悉中山大学申请的专利一种磁性颗粒膜及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117026164B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310859091.3，技术领域涉及：C23C14/18；该发明授权一种磁性颗粒膜及其制备方法是由陈弟虎;刘兴礼设计研发完成，并于2023-07-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种磁性颗粒膜及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种磁性颗粒膜及其制备方法。本发明磁性颗粒膜的制备方法包括：石英基体经金属蒸汽真空弧离子注入过程、激光退火过程，得到磁性颗粒膜。本发明通过结合金属蒸汽真空弧离子注入技术与纳秒激光退火，并通过特定工艺参数设置于控制，得到适合透明基底、工艺简单、有效磁改性、粒径较小且均匀、可控性高和重复性好的磁性颗粒膜的制备方法。而且，通过上述方法能够制得颗粒较为均一，分布较为均匀的亚10纳米的磁性颗粒膜，在高密度磁记录、微磁传感器等方面具有广阔的应用前景。
本发明授权一种磁性颗粒膜及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种颗粒粒径＜10nm的磁性颗粒膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤： 1将石英基体经微分处理后，得到具有若干个等面积的区域单元的石英基体； 2选取具有若干个区域单元的石英基体的一面，经金属蒸汽真空弧离子注入过程、激光退火过程，得到磁性颗粒膜，其中，所述金属蒸汽真空弧离子注入的注入剂量为2.5×1017~3.5×1017cm‑2； 步骤2所述激光退火过程的参数设置为： 1种脉冲信号，脉冲信号的特征：延时为107微秒，单个脉冲能量为42毫焦； 或者，1种脉冲信号，脉冲信号的特征：延时57微秒，单个脉冲能量为142毫焦； 步骤2所述金属蒸汽真空弧离子注入的参数为：真空度为4×10‑4~6×10‑4Pa，离子的产生频率为5~15Hz，注入能量固定为20~60keV，离子源的靶材为钴材料。
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