麦斯塔微电子(深圳)有限公司雷永庆获国家专利权
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龙图腾网获悉麦斯塔微电子(深圳)有限公司申请的专利具有电磁屏蔽功能的MEMS装置及其制作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116924320B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310873477.X，技术领域涉及：B81B7/02；该发明授权具有电磁屏蔽功能的MEMS装置及其制作方法是由雷永庆;谢国伟设计研发完成，并于2023-07-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本具有电磁屏蔽功能的MEMS装置及其制作方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种具有电磁屏蔽功能的MEMS装置及其制作方法，通过于器件层设置可动柔性部件，使所述支撑衬底通过所述可动柔性部件面外耦接盖板晶圆以对支撑衬底的浮空电位进行释放，抑制衬底电位浮动对器件层工作的电磁干扰，提升了微机电系统在复杂电磁环境中稳定运行的能力。本发明的制作方法包括，将盖板晶圆带有图形化金属层的一面与器件层进行对准键合以于所述盖板晶圆与所述MEMS器件之间界定出气密性腔体，同时使支撑衬底通过所述可动柔性部件面外耦接所述盖板晶圆以对衬底的浮空电位进行释放，易于工艺实现。
本发明授权具有电磁屏蔽功能的MEMS装置及其制作方法在权利要求书中公布了：1.一种具有电磁屏蔽功能的MEMS装置，其特征在于，包括： 支撑衬底； 器件层，位于所述支撑衬底上，所述器件层包括谐振式MEMS器件和可动柔性部件，所述谐振式MEMS器件容纳于贯穿所述器件层的腔体内，所述可动柔性部件以其一端固定于所述器件层的本体上而悬空设置于所述支撑衬底之上，所述可动柔性部件包括以悬空于所述支撑衬底之上的状态下柔性连接至所述器件层本体的接触单元，所述接触单元包括第一柔性构件和连接于所述第一柔性构件与所述器件层的本体之间的凸块； 盖板晶圆，包括位于其表面的屏蔽层，所述盖板晶圆带有所述屏蔽层的一面与所述器件层对准键合以将MEMS器件气密性密封于所述腔体内，由此保持真空环境，以及使所述凸块抵靠所述屏蔽层于一锚点位置的状态下致使所述接触单元的自由端向下移动至与所述支撑衬底接触，所述支撑衬底与所述器件层的本体电绝缘而通过所述可动柔性部件面外耦接所述盖板晶圆，用于对所述支撑衬底的浮空电位进行释放。
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