北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)赵永进获国家专利权
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龙图腾网获悉北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)申请的专利一种半导体测试用的工件台获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116690507B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310456710.4,技术领域涉及:B25H1/00;该发明授权一种半导体测试用的工件台是由赵永进;薛书亮;裴兵全;潘峰;艾博设计研发完成,并于2023-04-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体测试用的工件台在说明书摘要公布了:本发明提供一种半导体测试用的工件台,半导体测试用的工件台的结构包括基座;工件台主体,安装于基座的顶部,工件台主体包括:伸出轴,其顶部用于安装载物台;内支撑座,套设于伸出轴,内支撑座与伸出轴活动连接;及外支撑座,套设于内支撑座,外支撑座与内支撑座活动连接,外支撑座安装于基座;竖直驱动部,与伸出轴相连接,用于驱动伸出轴沿竖直方向运动;旋转驱动部,与内支撑座相连接,用于驱动内支撑座旋转;以及连接部,与伸出轴和内支撑座相连接。该半导体测试用的工件台能够解决现有半导体测试用的工件台结构复杂的问题。
本发明授权一种半导体测试用的工件台在权利要求书中公布了:1.一种半导体测试用的工件台,用于安装载物台,其特征在于,所述半导体测试用的工件台包括: 基座; 工件台主体,安装于所述基座的顶部,所述工件台主体包括: 伸出轴,其顶部用于安装所述载物台; 内支撑座,套设于所述伸出轴,所述内支撑座与所述伸出轴活动连接;及外支撑座,套设于所述内支撑座,所述外支撑座与所述内支撑座活动连接,所述外支撑座安装于所述基座; 竖直驱动部,与所述伸出轴相连接,用于驱动所述伸出轴沿竖直方向运动; 旋转驱动部,与所述内支撑座相连接,用于驱动所述内支撑座旋转;以及连接部,与所述伸出轴和所述内支撑座相连接; 所述连接部包括: 限位块,安装于所述内支撑座的顶部,所述限位块的上部形成有限位卡槽; 限位杆,安装于所述伸出轴的顶部,所述限位杆的端部卡设于所述限位卡槽内; 限位螺栓,与所述限位块相连接,所述限位螺栓平行于所述限位杆;以及弹簧,连接所述限位螺栓与所述限位杆。
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