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龙图腾网获悉华中科技大学;上海精测半导体技术有限公司申请的专利一种叠层衍射位置校正计算成像方法、装置和系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116520560B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310420098.5，技术领域涉及：G02B27/00；该发明授权一种叠层衍射位置校正计算成像方法、装置和系统是由刘世元;钟磊;谷洪刚;李仲禹;马骏设计研发完成，并于2023-04-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种叠层衍射位置校正计算成像方法、装置和系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种叠层衍射位置校正计算成像方法、装置和系统，其中方法包括：在运动平台带动待测样品按照预设曲线做二维平面运动的过程中，使用照射探针照射待测样品，使用摄像机采集待测样品的衍射光场的强度信息；以运动平台的每一个扫描位置坐标为中心随机生成一系列位置坐标，将一系列位置坐标划分为多个初始种群，以使用种群中位置坐标计算的衍射光场的强度信息与摄像机采集的衍射光场的强度信息之间差值最小为目标，迭代更新种群，迭代到最大迭代次数，得到运动平台的更新位置坐标；将运动平台的更新位置坐标作为照射探针和待测样品的坐标，计算照射探针和待测样品的复振幅函数，由此重构幅值相位。本发明叠层衍射位置校正精度高、速度快。

本发明授权一种叠层衍射位置校正计算成像方法、装置和系统在权利要求书中公布了：1.一种叠层衍射位置校正计算成像方法，所述方法应用于叠层衍射系统，叠层衍射系统包括沿光轴方向依次设置的激光器、扩束器、可调式光阑、聚焦镜、运动平台和摄像机，激光器依次通过扩束器、可调式光阑和聚焦镜，产生照明探针照射运动平台上的待测样品，其特征在于，所述方法包括： 在运动平台带动待测样品按照预设曲线做二维平面运动的过程中，使用照射探针照射待测样品，使用摄像机采集待测样品的衍射光场的强度信息； 以运动平台的每一个扫描位置坐标为中心随机生成一系列位置坐标，将一系列位置坐标划分为多个初始种群，以使用种群中位置坐标计算的衍射光场的强度信息与摄像机采集的衍射光场的强度信息之间差值最小为目标，迭代更新种群，迭代到预设的最大迭代次数，得到运动平台的更新位置坐标； 将运动平台的更新位置坐标作为照射探针和待测样品的坐标，计算照射探针和待测样品的复振幅函数，由此重构待测样品和照射探针的幅值相位； 所述运动平台的更新位置坐标通过如下方式迭代得到： 以运动平台的初始位置坐标为中心随机生成一系列位置坐标，将一系列位置坐标划分为多个初始种群，对于第i个初始种群，计算初始种群中每个位置坐标下照射探针和待测样品的复振幅函数，将照射探针的复振幅函数与待测样品的复振幅函数相乘得到照明探针的出口波复振幅函数；将出口波复振幅函数传播至傅里叶空间，计算衍射光场的强度信息；将计算的衍射光场的强度信息与摄像机采集的衍射光场的强度信息之间差值最小的位置坐标作为第i个初始种群的个体历史最佳位置； 将多个初始种群中差值最小的个体历史最佳位置作为群体历史最佳位置； 将上一次迭代时位置更新的距离、个体历史最佳位置与随机生成的个体位置之间的差值以及群体历史最佳位置与随机生成的个体位置之间的差值的加权和作为下一次迭代时位置更新的距离，以计算衍射光场的强度信息与摄像机采集的衍射光场的强度信息之间差值最小为目标，迭代更新种群，迭代到预设的最大迭代次数，将最终迭代次数下的个体历史最佳位置和群体历史最佳位置对应的位置更新的距离与运动平台的上一次迭代的位置坐标相加得到运动平台的更新位置坐标。

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