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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所何玲平获国家专利权

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龙图腾网获悉中国科学院长春光学精密机械与物理研究所申请的专利一种极紫外谱线探测仪器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116337229B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111598399.4,技术领域涉及:G01J3/28;该发明授权一种极紫外谱线探测仪器是由何玲平;王蕴琦;黄斌;陈波;李朝辉设计研发完成,并于2021-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。

一种极紫外谱线探测仪器在说明书摘要公布了:本发明公开了极紫外谱线探测仪器,包括光束准直器、滤光组件、狭缝部件、光栅和探测器,滤光组件包括滤光片轮以及滤光片,狭缝部件形成有工作狭缝和定标狭缝,工作狭缝与光栅之间的水平距离小于探测器与光栅之间的水平距离以使工作狭缝、光栅与探测器三者之间位置关系偏离传统的罗兰圆关系;极紫外谱线探测仪器正常工作时,工作光路开启,定标光路关闭;极紫外谱线探测仪器对工作狭缝光定标时,工作光路开启,定标光路开启,经光束准直器准直后的入射光线经滤光片过滤后经工作狭缝入射至光栅的第一位置,并经汇聚至探测器的第一位置,且经光束准直器准直后的入射光线经滤光片过滤后经定标狭缝入射至光栅的第二位置,并汇聚至探测器的第二位置。

本发明授权一种极紫外谱线探测仪器在权利要求书中公布了:1.一种极紫外谱线探测仪器,其特征在于,包括光束准直器、滤光组件、狭缝部件、光栅和探测器,所述滤光组件包括可转动的滤光片轮以及至少两个设置在所述滤光片轮上的滤光片,所述狭缝部件形成有并排设置的工作狭缝和定标狭缝,所述光束准直器、所述滤光组件、所述工作狭缝、所述光栅和所述探测器形成工作光路,且所述光束准直器、所述滤光组件、所述定标狭缝、所述光栅和所述探测器形成定标光路,所述工作狭缝与所述光栅之间的水平距离小于所述探测器与所述光栅之间的水平距离以使所述工作狭缝、所述光栅与所述探测器三者之间的位置关系偏离传统的罗兰圆关系;所述极紫外谱线探测仪器用于正常工作时,所述工作光路开启,所述定标光路关闭,经所述光束准直器准直后的入射光线经所述工作狭缝入射至所述光栅的第一位置,并经汇聚至所述探测器的第一位置;所述极紫外谱线探测仪器用于对工作狭缝光定标时,所述工作光路开启,所述定标光路开启,经所述光束准直器准直后的入射光线经所述滤光片过滤后经所述工作狭缝入射至所述光栅的第一位置,并汇聚至所述探测器的第一位置,且经所述光束准直器准直后的入射光线经所述滤光片过滤后经所述定标狭缝入射至所述光栅的第二位置,并汇聚至所述探测器的第二位置。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,其通讯地址为:130033 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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