联华电子股份有限公司周逸豪获国家专利权
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龙图腾网获悉联华电子股份有限公司申请的专利金属内连线结构及其制作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116314012B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310327743.9，技术领域涉及：H10W20/00；该发明授权金属内连线结构及其制作方法是由周逸豪;傅子豪;谢宗殷;张志圣;蔡世群;何坤展;林泱佐设计研发完成，并于2018-08-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本金属内连线结构及其制作方法在说明书摘要公布了：本发明公开一种金属内连线结构及其制作方法，该制作金属内连线结构的方法为，首先形成一第一金属内连线于一基底上的一第一金属间介电层内，然后形成一遮盖层于第一金属内连线上，形成一第二金属间介电层于遮盖层上，进行一第一蚀刻制作工艺去除部分第二金属间介电层以形成一开口，进行一等离子体处理制作工艺，再进行一第二蚀刻制作工艺去除部分遮盖层。
本发明授权金属内连线结构及其制作方法在权利要求书中公布了：1.一种金属内连线结构，其特征在于，包含： 第一金属内连线，设于基底上的金属间介电层内，其中该第一金属内连线上表面切齐该金属间介电层上表面； 遮盖层，设于该第一金属内连线上，其中该遮盖层包含导电材料； 停止层，设于该遮盖层上； 第二金属内连线，设于该第一金属内连线上，穿过该停止层以及部分该遮盖层；以及气孔，设于该第二金属内连线两侧的该停止层和该遮盖层之间。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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