细美事有限公司孙永俊获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利冷却单元和具备其的热处理装置以及热处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116313892B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211633536.8，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权冷却单元和具备其的热处理装置以及热处理方法是由孙永俊;李营浚;严基象;李泰勋设计研发完成，并于2022-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本冷却单元和具备其的热处理装置以及热处理方法在说明书摘要公布了：本发明作为冷却单元和具备其的热处理装置以及热处理方法，更详细地涉及如下技术：通过热处理装置执行基板的热处理工艺之后，使冷却单元的热交换介质接触到加热板上并使制冷剂循环，从而能够迅速且有效地降低加热板的温度。冷却单元包括：冷却板，朝向对基板执行热处理工艺的加热单元的加热板移动；制冷剂流路，设置于所述冷却板的内部，并供制冷剂流动；以及热交换介质，与所述加热板的至少一部分接触而通过在所述加热板和所述制冷剂流路中的制冷剂间进行热交换来冷却所述加热板。
本发明授权冷却单元和具备其的热处理装置以及热处理方法在权利要求书中公布了：1.一种冷却单元，其特征在于，包括： 冷却板，朝向对基板执行热处理工艺的加热单元的加热板移动； 制冷剂流路，设置于所述冷却板的内部，并供制冷剂流动；以及热交换介质，与所述加热板的至少一部分接触而通过在所述加热板和所述制冷剂流路中的制冷剂间进行热交换来冷却所述加热板，所述热交换介质包括： 冷却片，分散配置于所述冷却板的下表面，并具有设定水平的导热特性；以及滚珠凸缘，被插入配置所述冷却片的下部一部分，并与所述加热板接触。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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