深圳市海目芯微电子装备科技有限公司蒋绍毅获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市海目芯微电子装备科技有限公司申请的专利接近式光刻机的载台调平装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116300348B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211742726.3，技术领域涉及：G03F9/00；该发明授权接近式光刻机的载台调平装置是由蒋绍毅;王金鹏;霍荣标;方文韬设计研发完成，并于2022-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本接近式光刻机的载台调平装置在说明书摘要公布了：本发明公开一种接近式光刻机的载台调平装置，该接近式光刻机的载台调平装置包括掩膜台、产品载台、至少三个接触球以及至少三个音圈电机；所述产品载台设置于所述掩膜台的下方；所述接触球设置于所述产品载台上，每个所述接触球的直径一致，各个所述接触球不全在一条直线上；所述音圈电机设置于所述产品载台的下方；所述音圈电机用于顶升所述产品载台，而使所述接触球沿竖直方向的两端分别抵接所述掩膜台的下表面与所述产品载台的上表面，以调节所述产品载台相对所述掩膜台的一面与所述掩膜台相对所述产品载台的一面平行。本发明技术方案能够实现接近式光刻机中产品载台的快速调平，提高调平精度，保证曝光质量。
本发明授权接近式光刻机的载台调平装置在权利要求书中公布了：1.一种接近式光刻机的载台调平装置，其特征在于，包括： 掩膜台； 产品载台，设置于所述掩膜台的下方； 至少三个接触球，设置于所述产品载台上，每个所述接触球的直径一致，各个所述接触球不全在一条直线上，其中三个所述接触球呈等边三角形排布； 至少三个音圈电机，所述音圈电机设置于所述产品载台的下方，各个所述音圈电机不全在一条直线上，其中三个所述音圈电机呈等边三角形排布； 所述音圈电机用于顶升所述产品载台，而使所述接触球沿竖直方向的两端分别抵接所述掩膜台的下表面与所述产品载台的上表面，以调节所述产品载台相对所述掩膜台的一面与所述掩膜台相对所述产品载台的一面平行，所述音圈电机还用于记录所述接触球被所述产品载台和所述掩膜台压紧时各自位置并保持各自位置，以使所述产品载台和所述掩膜台保持平行；所述音圈电机的输出端安装有可自由旋转的球头，所述球头与所述产品载台点接触。
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