上海华力微电子有限公司骆建钢获国家专利权
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龙图腾网获悉上海华力微电子有限公司申请的专利光刻机互锁装置的触发结构及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116184775B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310177028.1，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权光刻机互锁装置的触发结构及方法是由骆建钢;徐晓敏;黄俊设计研发完成，并于2023-02-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本光刻机互锁装置的触发结构及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种光刻机互锁装置的触发结构及方法，属于光刻机技术领域，该光刻机互锁装置的触发结构，设置于所述光刻机的检修窗口处，所述光刻机的检修窗口上覆盖有遮挡板，所述光刻机的内部还设置有固定装置，并在所述固定装置和所述遮挡板之间形成检测空间，所述触发结构包括激光发射器、反射装置和激光接收器，所述激光接收器位置固定地安装在所述光刻机的内部，用以在未接收到激光束时触发所述互锁装置。采用激光装置作为触发结构，通过在激光接收装置接收不到激光束时触发互锁装置，从而减少了因外力碰撞带来的光刻机宕机，规避了潜在的晶圆和部件损坏风险。
本发明授权光刻机互锁装置的触发结构及方法在权利要求书中公布了：1.一种光刻机互锁装置的触发结构，设置于所述光刻机的检修窗口处，其特征在于，所述光刻机的检修窗口上覆盖有遮挡板，所述光刻机的内部还设置有固定装置，并在所述固定装置和所述遮挡板之间形成检测空间，所述触发结构包括激光发射器、反射装置和激光接收器，所述激光接收器位置固定地安装在所述光刻机的内部，用以在未接收到激光束时触发所述互锁装置；其中： 所述激光发射器设置在所述固定装置朝向所述遮挡板的一侧，所述反射装置安装在所述遮挡板位于所述光刻机内部的一端面，用以将接收到的激光束反射到所述激光接收器； 所述反射装置包括反射面垂直的第一分光镜和第二分光镜，以使射入和射出所述反射装置的激光束平行。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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