珠海莫界科技有限公司徐松获国家专利权
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龙图腾网获悉珠海莫界科技有限公司申请的专利一种电子束邻近效应的矫正方法、装置及介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115933329B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211728871.6，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种电子束邻近效应的矫正方法、装置及介质是由徐松;关健;周兴;赵晋设计研发完成，并于2022-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种电子束邻近效应的矫正方法、装置及介质在说明书摘要公布了：本申请公开了一种电子束邻近效应的矫正方法、装置及介质，涉及电子束光刻领域。之前的通过放大图形的方式中，在放大尖角的同时也会引起图形边的放大，导致图形失真，而本申请的方法中，由于只是对受邻近效应影响的位置处增加曝光区域，未受邻近效应的位置仍然与原始的图形重合，因此，图形的保形效果较好；之前的通过增加补偿图形的方式中，图形的边可能会出现凸起，而本申请的方法中，最终形成的区域是各交点共同围成的区域或未受邻近效应影响的尖角的顶点、各交点共同围成的区域，进而，矫正后的目标图形中不存在边凸起的情况，故而，本申请提供的方法在降低邻近效应影响的同时，也提高了曝光后图形的保形效果。
本发明授权一种电子束邻近效应的矫正方法、装置及介质在权利要求书中公布了：1.一种电子束邻近效应的矫正方法，其特征在于，包括： 获取目标图形的目标区域；其中，所述目标区域为所述目标图形中受邻近效应影响的位置； 获取在各所述目标区域的内部或外部增加的弧形结构；其中，同一所述目标区域处增加的所述弧形结构至少为两个； 获取受所述邻近效应的影响后，同一所述目标区域处形变后的各所述弧形结构之间的第一目标交点，以及形变后的各所述弧形结构在所述目标区域处与所述目标图形之间的第二目标交点； 在所有的所述目标区域为所述目标图形的所有尖角的情况下，获取所述第一目标交点和所述第二目标交点共同围成的第一区域；根据所述第一区域对所述目标图形进行矫正； 在所有的所述目标区域为所述目标图形的部分尖角的情况下，获取未受所述邻近效应影响的所述尖角的顶点、所述第一目标交点、所述第二目标交点共同围成的第二区域；根据所述第二区域对所述目标图形进行矫正。
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